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Co-Si多层膜在稳态热退火中的固相界面反应 总被引:1,自引:1,他引:0
超高真空条件下,采用电子束蒸发工艺在Si(111)衬底上交替蒸镀200A的Co和Si薄膜形成多层膜结构,在恒温炉中作稳态热退火,然后用XRD、RBS及AES等技术作分析,研究了Co-Si多层膜固相反应的相序,用四探针测量了反应生成的钴硅化物的电阻率。结果表明,随着退火温度的升高,淀积在Si(111)上的Co膜逐步转化为Co_2Si、CoSi和CoSi_2,最后完全转化为CoSi_2。在比单层膜低得多的温度下退火获得了电阻率较低、表面形态良好、晶粒很大的CoSi_2薄膜材料。 相似文献
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84.
测试了中国和苏联产钛铝双金属板的常规力学性能、K_R曲线和弹性模量,对界面的结合形式及其板材基体的显微组织进行了分析研究。试验结果表明,国产钛铝双金属板的常规力学性能、K_R曲线、弹性模量达到了苏联的钛铝双金属板的性能;相界面的组织与苏联的相同。 相似文献
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马伟荪 《冶金设备管理与维修》2002,20(6):35-35,37
Φ400轧机万向接轴接轴套和减速机分配轴原来用一颗M20的内六角螺栓进行连接,在生产中经常由于螺纹连接失效,导致接轴套滑落;后改用销轴连接,效果良好,再没发生过类似事件。 相似文献
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利用XRD及TEM方法测定了真空气压渗流法制备的四种基体复合材料及其界面区域的相组成。 相似文献
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引子渡水电站调压井按设计要作为压力钢管吊运的通道,施工工期很紧。为此,研究并采用了调压井反井钻机导井法、滑模及钢筋热镦粗直螺纹连接等多种新技术、新工艺,结果仅用11个月就完成了全部施工任务,为后续工作创造了良好条件。 相似文献