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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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目前,高硫原油(硫的质量分数大于2%)在原油总量中的比例已占到一半左右。高硫原油和低硫原油之间存在着明显的价差,随着国际油价的攀升,这种价差愈发明显。2004年高硫原油比低硫原油每桶便宜4.6美元,2005年上半年达到5.1美元。按此计算,加工200X10。t高硫原油,可节约原料成本¥5.6×10^8元。当然,加工1桶高硫原油成本要多约1美元。两者比较,在高油价的条件下,加工高硫原油仍有效益优势,具有高硫原油加工能力的炼油厂,能在一定程度上通过对原油品种的选择来控制成本。 相似文献
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宽带DDS跳频源设计 总被引:1,自引:0,他引:1
直接数字合成(DDS)简单可靠、控制方便,具有很高的频率分辨率,高速转换,非常适合快速跳频的要求。在对DDS基本原理进行了简要介绍和分析后,提出宽带跳频源设计方案。 相似文献
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