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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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光子晶体与光子晶体光纤 总被引:1,自引:0,他引:1
张瑞君 《光纤光缆传输技术》2004,(1):5-9
光子晶体是20世纪80年代末提出的新概念和新材料,经过十多年的发展,已取得很大进展。光子晶体由于其优越性而具有极好的应用前景,不仅可使光通信领域产生新的变革,同时将对光电子领域及其相关产业产生巨大的影响。介绍了光子晶体及根据其原理开发的光子晶体光纤。 相似文献
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Ph. D. Candidate:Chen Xue-fengState Key Laboratory of Offshore Coastal Engineering Dalian University of Technology Dalian China e-mail: cxfeng @ student dlut. edu.cn 《水动力学研究与进展(B辑)》2003,15(6)
The reflection coefficient of perforated caissons and the total horizontal forces acting on them were experimentally and numerically analyzed and discussed when wave propagates normally. To consider the viscosity effect of fluid and nonlinear action of waves on structures, the VOF (Volume Of Fluid) method combined with the k-ε turbulence model was used to simulate the interaction between waves and structures. Governing equations were solved with the finite difference method. Through 2D experimental study in the wave flume, the empirical relationship between the reflection coefficient of perforated caissons and the main affecting factors were obtained from the experimental data using the least square method. Also the correlation between the ratio of the total horizontal force acting on perforated caisson and the force acting on solid caisson and the main affecting factors were regressed from the experimental data. 相似文献
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介绍了Freescale公司嵌入式微处理器MCF5282的原理、特点,给出了该处理器在嵌入式操作系统uClinux下通过I2C硬件扩展数字输入的原理,以及I2C总线的驱动程序设计流程. 相似文献
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芬兰地处北欧,是世界上森林覆盖率最高的国家。这里地广人稀,资源丰富,人们的生活富足且悠闲,是个适合孕育精品的地方。事实上,芬兰的工业产品品牌就属于少而精的一类,像NOKIA(诺基亚)就是一个很好的例子。回到音响上来,Genelec(真力)就是目前全球监听箱最火爆的品牌;前几年又出了Amphion(奥德菲尔),旗下的Argon2(夜莺)音响名重一时。那么,今天的主角Penaudio的Charisma音箱是否又能为我们带来新的惊喜? 相似文献