微细电火花加工实现条件的研究

介绍了微细电火花加工的原理和特点,从加工表面质量、脉冲电源、微细工具电极的制造和安装、放电面积效应的影响、伺服控制系统等方面对微细电火花加工的实现条件进行了研究,并给出了微细轴的电火花加工等具体加工实例.研究结果对微细电火花加工技术的具体应用具有重要的参考价值和指导意义.     

Effect of the micro porous layer design on the dynamic performance of a proton exchange membrane fuel cell

The mass transport characteristics of a gas diffusion layer (GDL) predominantly affect the performance of a proton exchange membrane (PEM) fuel cell. However, studies examining the transient response related to the GDL are insufficient, although the dynamic behavior of a PEM fuel cell is an important issue. In this study, the effects of the design of a micro porous layer (MPL) on the transient response of a PEM fuel cell are investigated. The MPL slurry density and multiple functional layers are treated as the variable design parameter. The results show that the transient response is determined by the capillary pressure gradient through the GDL. The trade-off relation for the PEM fuel cell performance under low and high humidity conditions due to the hydrophobic GDL is mitigated by designing a reverse capillary pressure gradient in the MPL.     

摩擦驱动压电微位移动力模型与Simulink仿真

基于光栅刻划机驱动机构(宏动--摩擦驱动、微动--压电陶瓷)建立驱动模型和动力学模型即二阶弹簧阻尼系统动力模型,通过对宏动部分与微动部分的位移输入,模拟其最终刻划刀具位移量,通过应用Matlab中Simulink部分对涉及的计算表达式进行求解,绘制刀具定位的相应仿真曲线。得到理论摩擦驱动和压电陶瓷组合(以下叫实验组合)位移曲线与常规组合(如滚珠丝杠、齿轮齿条等)运行曲线。得出实验组合位移规律性强、控制方便、能够达到设计的精度要求。     

微纳制造技术文献计量分析

对微纳制造技术领域2000-2010年时间段的SCI和EI文献计量分析,结果显示,近年来该领域的研究呈现出增长趋势,美国在微纳制造领域的研究处于绝对领先的地位.SCI文献分析表明,纳米尺度的制造技术、微米尺度的制造技术、微机电系统、微流体、微加工等是近年来研究的热点领域;EI分析则显示,光刻技术、微加工、微机电器件、纳米结构材料、扫描电子显微镜等是研究的热点.     

微电子机械系统在生物医学领域中的应用

本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景.     

微装配技术的发展现状

微器件的装配并不是一个新兴的领域 ,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展 ,微装配概念发生了根本性的变化 ,产品的范围和应用领域被拓宽 ,出现了许多新的技术 ,它的发展是与微机电系统 (MEMS)、纳米技术 (Nanotechnology)密切相关的。本文对微装配技术的发展现状进行了综述 ,介绍了微装配的特点和使用的许多新技术     

拟实环境辅助微操作工具Z方向定位研究

针对微操作系统中微操作工具相对于被操作对象Z方向精确定位难问题,提出了利用拟实环境辅助定位的方法,将定位问题转化为如何确定模糊图像模糊度问题。首先在拟实环境中精确定位,在实际操作中由高精度步进电机直接驱动操作臂使微操作工具到达被操作对象所处焦平面,既克服了“爬山”现象对定位精度的影响,又不受物镜景深的限制。     

MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米／纳米镊子实例,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。     

Effects of scratching directions on AFM-based abrasive abrasion process

AFM-based single abrasive abrasion process is widely employed in the surface micro/nanomachining for fabrication of structures at the nanometer scale. The wear depth and roughness are significantly important in the application of these structures. To study effects of scratching directions on the wear depth and roughness within the wear mark, single groove scratching test and wear test on the surface of polished single crystal silicon were carried out using AFM with a pyramidal diamond tip. Single groove scratching tests indicated that tip geometry leads to different removal states such as cutting and plowing. At the same load, deeper wear depth and rougher surface were produced by using the scratching direction perpendicular to the long axis of the cantilever rather than parallel to the long axis of the cantilever. Surface roughness decreases with respect to the feed scratching perpendicular to the long axis of the cantilever, whereas while scratching along the long axis of the cantilever, the surface roughness is rougher at the small feed. This is attributed to the different stiffness of the cantilever along different scratching directions and different removal states between the tip and sample.     

一种基于SMA的微小型蠕动机器人

介绍了一种SMA驱动的微型轮式蠕动机器人的结构和控制系统。它采用轮式移动结构，打破近年来微小型机器人多采用腿式结构的传统。重点分析了并联式SMA驱动器和轮式移动机构的设计。微型机器人采用并联式SMA驱动器仿生蠕动输出力和位移，刚／弹耦合机构显著增大了微型机器人的前进步距，车轮逆向锁定机构控制了运动方向，确保了车轮滚动前进，实现了较高速度的运动。