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基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常. 相似文献
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本文介绍了中压变频器在渤海石油钻井平台的应用情况,通过与传统工况的比较,得出电机变频调速是解决问题最佳方案的结论。 相似文献
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研制了具有放大纳秒方形激光脉冲的高光束质量、高稳定的激光二极管(LD)抽运的钕玻璃激光放大器。为了获得较高的输出能量,采用LD泵浦的"串联式双程放大"高增益组件进行能量放大。为了获得高光束质量的光斑,利用液晶空间光调制器(LCSLM)对光束近场分布进行空间整形,使之产生特定的空间分布,进而对后级放大器增益不均匀性进行光学预补偿。放大器工作波长为1 053nm,工作频率为3 Hz,输入1nJ的3ns方形激光脉冲,输出激光脉冲能量为100mJ、光束口径为10mm×10mm的方光斑,能量不稳定度小于2%(均方根),净增益大于109。光束的近场调制度小于1.3∶1,远场焦斑衍射极限小于2DL,远场角漂移小于9.5μrad。 相似文献
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This paper reviews our recent work on fabrication,optical characterization and lasing application of semiconductor nanowires,with brief introduction of related work from many other groups. 相似文献
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介绍了瞄准望远镜、图像传感器、激光测距机、编码器、解算计算机、图文信息显示装置等组成的智能光电火控系统的总体结构和工作原理.设计确定了系统各组成部分的具体结构形式、性能参数以及电视观描,图文显示,高低射角装定,方位提前量修正,智能引信装定等功能的实现方案.系统具有电视观瞄、快速装表、直观显示、测速精度高、解算速度快、全天候等特点. 相似文献
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采用GSMC0.18μm工艺设计了性能优良的电荷泵,与传统电荷泵相比,此电荷泵具有低失配(mismatch≤2%)、低功耗(≤0.15mw)、低电荷共享的特点,可广泛应用于电荷泵锁相环(CPPLL)中。 相似文献