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61.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作   总被引:5,自引:1,他引:4  
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。  相似文献   
62.
利用梯度方向信息的随机Hough变换   总被引:17,自引:0,他引:17  
针对随机Hough变换(RHT)在处理复杂图像随机采样造成的大量无效积累提出一种改进的用于直线检测的RHT,较发地解决了无效果累积问题,并使改进后的算法具有计算速度更快,占用内存更少以及检测性能更好等优点。  相似文献   
63.
介绍一种用于生产聚氨酯泡沫夹克管保温层的新材料聚酯聚醚,报道选用这种材料生产泡沫夹克管的工艺及工要工艺参数和产品达到的技术指标及现场应用情况。  相似文献   
64.
VibrationMonitoringandDiagnosisofPipelinePumpsonOfshorePlatformsZhengWenTechnologicalFacultyofMaintenanceEngineringGuangzhou...  相似文献   
65.
激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
介绍了激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统,为了提高激光扫描器的定位精度,在系统中提出采用基于闭环象素时钟发生器的检流计振镜所固有的扫描非线性失真补偿方案,减少输出图象的枕形畸变,实现行扫描空间位置的均匀性。在以细分梯形波电流驱动反应式步进电机情况下,根据实测θi曲线,用反插法求得与步进电机运行非均匀性相补偿的相电流波,从而获得在小电流情况下高角度均匀的步进电机细分运行特性。  相似文献   
66.
The causes of lightning outage are subdivided into direct lightning strokes and induced lightning strokes, which are identified by the characteristics of the lightning overvoltage. In the past, lightning protection devices were directed mainly toward the latter, and attention has been focused on the installation of lightning protection devices, ground wires, and reinforcement of insulators. However, lightning outages continue to occur. Thus it is extremely important to clarify the fault characteristics of lightning surges and to study the effectiveness of various lightning protection devices by considering both direct lightning stroke and induced lightning stroke in order to prevent lightning outage in the future. In this research, the electromagnetic transients program (EMTP) has been applied to the direct lightning stroke, and the induced lightning outage analysis program for multiple conductor systems has been applied to the induced lightning stroke to study the effectiveness of lightning protection devices provided by combination of various lightning protection devices. The most effective lightning protection schemes are analyzed and evaluated based on verification tests on the full scale models as well as economic considerations.  相似文献   
67.
谭民 《控制与决策》1994,9(4):266-270,300
本文对CIMS装配线和拆卸线的可靠性问题进行研究。文中分析了它们的运行状况,求出了两种生产线的稳态可用度,并用一个例子加以说明。  相似文献   
68.
可压缩体的滑移线场理论   总被引:1,自引:0,他引:1  
从理论上建立了可压缩体的滑移线场理论,并给出了解析实例。研究表明:在平面应变条件下,可压缩体内的两族滑移线不仅不正交,而且随着平均正应力的不同而变化;可压缩体的平面应变问题可以直接采用现有的致密体的滑移线场来求出。  相似文献   
69.
疏松桂  谭民 《控制与决策》1994,9(6):451-454
本文利用等效工作站理论和工件流平衡原理,推导出非串行离散事件生产线可以等价于串联系统,并归结为装配和拆卸两条定理,解决了系统的建模、分析与设计问题。  相似文献   
70.
当线路末端故障时,行波在线路末端的反射情况比较复杂,反向电流行波的极性有可能与正向电流行波的极性相反,而此时测距结果又与线路无故障时相同。因此,会造成行波测距式与行波极性比较式合闸保护的不正确动作。根据行波的折、反射理论,分析出当线路无故障时正向电流行波仅在线路末端发生反射,且电流行波的反射系数为-1,而当线路存在故障时,正向电流行波将在故障点发生反射,无论故障是否在线路末端,电流行波的反射系数都不会是-1。根据这一特征,提出了一种新的行波合闸保护方法。从原理上保证了在各种情况下保护都可以正确动作,大量的电磁暂态仿真结果也证明了这一点。  相似文献   
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