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提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3. 5 mm ×3. 5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量.介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅( SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术.成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定.实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7. 04%,线性度可达到1. 25%. 相似文献
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传感器技术的最新进展和市场机遇 总被引:4,自引:0,他引:4
综述了国外通用传感器、机器人传感器 ,汽车传感器的发展现状 ,重点阐述了传感器技术的最新进展 ,并介绍了先进传感器的应用前景 相似文献
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基于Windows95平台的实时控制技术 总被引:15,自引:0,他引:15
本针对微细电火花加工控制这样一个实时性要求很高的计算机控制系统,分析了控制对象对控制软件的要求,对Windows95的系统在实时笥方面有关内容进行深入剖析,指出仅仅通过Windows95的API,及定时器要完成高精度实时控制是不可能的,并且提出了解决的方法:通过成熟软件VtoolsD来编写虚拟设备程序。本分析了虚拟设备程序的强大功能,简要介绍了用VtoolsD编写中断处理程序的方法,介绍了采用 相似文献
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时间序列是信息系统一储存在的一类重要数据对象,而序列间的距离计算是很多时间序列数据开采或数据提取问题的核心。针对目前的序列距离定义模型对非总体的细微关联特征不敏感的问题,提出了一种新的时间序列距离定义模-时间序列的细微距离MD(X,Y),并提出了一种将时间序列由时域映射到频域,在频域中分离出不同的序列变化形式,以确定时间序列细微差别程度的算法-FDD算法。FDD算法具有较高的效率,且可以 作基准值 相似文献