同步辐射x射线光刻制作深亚微米T形栅

x射线光刻非常适合用于深亚微米T形栅的制作,这是因为它的高分辨率、大的曝光视场和高的生产效率足以满足MMIC制造工艺的要求。本文中我们首先对我们的x射线掩模制造工艺进行介绍,然后论述了一种用于制造深亚微米T形栅的两层胶工艺,介绍了所取得的一些研究结果,最后对国内的深亚微米光刻现状进行了简要分析。     

固液相变蓄能的数学模型和自然对流换热系数的实验研究

引入自然对流换热系数 ,将固液蓄能数学模型简化为仅用能量方程加以描述。并通过实验测得相变过程的实际温度场 ,证明了自然对流固液相变换热的影响不可忽略 ,验证了固液相变界面移动速率随自然对流换热系数的增大而增大的定性关系     

Al-Cu-Fe系初生准晶相凝固过程的电子显微分析

采用包括金相（OM），粉末X射线衍射（XRD），扫描电子显微镜（SEM）观察和透射电子显微（TEM）分析等方法，研究了铸态Al592.Cu36.8Fe3.0Si1.0合金（700℃保温2．5h后水淬）的显微组织及相组成。发现铸锭中存在4种相：准晶I相，τ3相（或φ相），θ－Al2Cu相和η－AlCu相，凝固过程可描述为：初生晶是准晶Ⅰ相；在保温过程中发生包晶或共晶反应（L＋i→τ3(或φ）或L→τ3（或φ）＋i)形成的τ3相（或φ相），呈微畴结构；而剩余液体水淬形成θ－Al2Cu相和η－AlCu 相。     

rried out. The Lagrange multipliers are

boundary conditions. A cell structure which is independent to the nodes is used to evaluate the integrals of EFG     

微重力落塔电磁悬吊、释放技术研究

论述了微重力落塔电磁悬吊、释放、提升机构的关键技术,电磁释放过程的特性分析以及微重力落塔实际试验的情况。分析说明:悬吊、释放性能的好坏决定了试验落舱的微重力水平,也是微重力落塔试验能否成功的关键技术。     

肥料中有机质分析方法的探讨

探讨肥料中有机质的分析方法。通过对两个肥料标准中有机质的分析方法进行比较，对各标准中有机质检验过程中的影响因素进行了分析，确定了本地区有机肥料中有机质适宜的分析方法。     

广播电视农村覆盖现状浅析

加强农村广播电视的发展,提高其覆盖率是关键,针对这一问题,阐述了解决农村广播电视覆盖的手段,对农村广播电视覆盖现状做了详细的分析,并提出建议和措施。     

盛钢桶铝锆碳滑板的研究与生产

通过研究,在盛钢桶用铝锆碳滑板的生产过程中,调整了ZrO2的加入量,添加了复合抗氧化剂,使滑板具用较高的强度和抗氧化性能,提高了滑板的使用寿命.     

GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究

用Ｎ２气和ＮＦ３反应气体，在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶ＡＺ１５１８作掩模，均匀、快速刻蚀ＳｉＯ２，ＳｉＯＮ，Ｓｉ３Ｎ４，ＷＮ，Ｗ等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术，将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示，实现了计算机辅助监控和终点检测技术。     

攀钢“501”滑动水口液压驱动系统的研制

介绍了为攀钢“５０１”滑动水口研制的专用液压驱动系统，对该系统的工作原理，性能特点，主要元件（设备）的选择原则等作了较为详细的说明介绍。