光刻系统层间套刻精度的评估

<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。     

提高齿轮圆孔定心的加工精度

本文阐述在汽车、拖拉机的变速齿轮制造中,对在圆孔定心的盘状齿轮轮坯加工和轮齿成形的传统加工工序中,改进设计原有的夹具,并对轮坯和夹具造成的误差进行一些分析,以提高齿轮的加工精度。一、传统加工方法对齿轮精度的影响目前在汽车、拖拉机行业中,对圆孔定心的盘状齿轮制造,采用的工艺路线主要有两种:     

触摸屏技术：一种触觉的体验

随着成本的下降和收益的提高,提供触觉输出在应用中越来越多。虽然我们大多数人利用视觉与听觉与计算机交互,但某些情况下,最合适使用的是触觉。今天,计算机技术正越来越多地认识到这一点,并开始采用触觉技术。触觉在希腊语中的意思是“抓或摸”,这里是指设备产生可被感觉到(而不是被看到     

激光测距精度对弹道定位的影响

针对154A激光测距精度对弹道定位精度的影响进行了理论分析和数学推导，给出一套完整的3R定位算法的误差传播估算方法，并结合任务数据进行了估算和分析。与此同时，我们对激光解出的弹道与多站联解弹道作差后得到的残差序列也进行了统计与分析，结果表明：两种误差估算方法得出的结论是完全一致的。     

光测遥测数据联合计算速度的方法

提出了利用遥测的过载、俯仰角信息和光测的坐标联合计算弹道关机段速度的方法，从遥测结果的系统误差、随机误差和数值积分的截断误差三万面对剩余误差的影响进行了精度分析，并给出了速度精度的算法。     

电磁流量计的选型要点

文章从电磁流量计的选用要点和关键要素方面进行了论述，指出了电磁流量计安装的要求及注意事项。     

"无侧隙"齿轮传动在印刷设备中的应用

本文提出了“无侧隙”齿轮传动技术，并以轮转式印刷机为例介绍了“无侧隙”齿轮传动技术的原理和设计方法，总结和推导出了齿轮加工的修正公式。     

鞍钢2130 mm双剪刃飞剪装配

论述双剪刃飞剪装配方案的制订及精度调整方法。     

在没有钻模和坐标镗床的情况下怎样钻孔间距有精度要求的平行孔

在冶金机械厂单件或小批生产中,常常遇到工件上有两个或几个平行孔,孔间距有精度要求。在没有钻模和精密坐标镗床的情况下,怎样才能钻出合格的平行孔呢?本文介绍两种简单方法。1在立式钻床上的加工方法如图1所示,要钻d1和d2两孔,孔间距为L±ΔL,其加工程序如下:首先划线,先钻出一个孔,例如,先钻出直径图1立钻上加工法为d1的孔,如果孔的精度要求较高,可用铰刀铰一下。然后用一个直径为d1的柱销与孔紧配。再用一个直径为d3的柱销夹在钻夹中,用卡尺或精密千分尺控制尺寸L1,就能保证孔距L±ΔL的精度。尺寸L1可按下式计算:L1=L+12d1+12d3孔…