现代光制造技术方兴未艾

利用激光或各种途径产生的受激辐射作为能源 (光源或热源 ) ,通过与物质的相互作用 ,按一定要求进行的加工或成形 ,统称为光制造。这里“光”主要指激光。近 2 0年光制造技术已渗透到高新技术领域和产业 ,并开始取代或改造某些传统的加工行业。1 光制造技术的优势光制造技术与传统制造比较优势 :光制造技术是一种符合可持续发展战略的绿色制造技术。例如 :材料浪费少 ,在规模生产中制造成本低 ;在生产流程自动化、大规模制造中生产效率高 ;可接近或达到冷加工状态 ,实现常规技术不能执行的高精密制造 ;对加工对象的适应性强 ,且不受电磁干…     

光刻系统层间套刻精度的评估

<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。     

触摸屏技术：一种触觉的体验

随着成本的下降和收益的提高,提供触觉输出在应用中越来越多。虽然我们大多数人利用视觉与听觉与计算机交互,但某些情况下,最合适使用的是触觉。今天,计算机技术正越来越多地认识到这一点,并开始采用触觉技术。触觉在希腊语中的意思是“抓或摸”,这里是指设备产生可被感觉到(而不是被看到     

激光测距精度对弹道定位的影响

针对154A激光测距精度对弹道定位精度的影响进行了理论分析和数学推导，给出一套完整的3R定位算法的误差传播估算方法，并结合任务数据进行了估算和分析。与此同时，我们对激光解出的弹道与多站联解弹道作差后得到的残差序列也进行了统计与分析，结果表明：两种误差估算方法得出的结论是完全一致的。     

电磁流量计的选型要点

文章从电磁流量计的选用要点和关键要素方面进行了论述，指出了电磁流量计安装的要求及注意事项。     

"无侧隙"齿轮传动在印刷设备中的应用

本文提出了“无侧隙”齿轮传动技术，并以轮转式印刷机为例介绍了“无侧隙”齿轮传动技术的原理和设计方法，总结和推导出了齿轮加工的修正公式。     

在没有钻模和坐标镗床的情况下怎样钻孔间距有精度要求的平行孔

在冶金机械厂单件或小批生产中,常常遇到工件上有两个或几个平行孔,孔间距有精度要求。在没有钻模和精密坐标镗床的情况下,怎样才能钻出合格的平行孔呢?本文介绍两种简单方法。1在立式钻床上的加工方法如图1所示,要钻d1和d2两孔,孔间距为L±ΔL,其加工程序如下:首先划线,先钻出一个孔,例如,先钻出直径图1立钻上加工法为d1的孔,如果孔的精度要求较高,可用铰刀铰一下。然后用一个直径为d1的柱销与孔紧配。再用一个直径为d3的柱销夹在钻夹中,用卡尺或精密千分尺控制尺寸L1,就能保证孔距L±ΔL的精度。尺寸L1可按下式计算:L1=L+12d1+12d3孔…     

相控阵天线波束指向精度的测试方法

采用相频扫天线阵的雷达，在雷达会标系上波束批向精度的测量和校准问题，在我所几种相关雷达型号的研制中，有过不同的实践，碰到过不同的问题，存在着不同的理解认识。如果能通过讨论，从理论上搞清这个问题，严格推导出上述转换关系，并结合相阵及其在雷达中的具体应用要求，寻找出合理的指向精度测量方法，同时定时地给出该方法的原理误差，对于提高和统一我们在这个问题上的认识，指导今后研制工作的实践，具有一定的现实意义。