Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能

微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统（MEMS）加工技术，制备Si基膜片型微结构单元，并分析其热学性能。这种单元工作区温度为-300℃时，加热功率约75mW；并且膜片工作区的热质量很小，温度可以于毫秒量级的时间内，在室温和450℃之间调制。利用这种微结构单元，可以在温度调制方式下，研究气敏薄膜的电学特性和敏感机理。     

微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.     

基于充放电原理实现的微电容测量电路

具有抗分布电容以及简单实用等特性的充放电电路是目前微电容测量中广泛采用的一种测量电路。本文对基于充放电原理的微电容测量电路进行了深入研究，并介绍一种基于充放电原理的实用电路。     

宝浪油田侏罗系三工河组浅水辫状河三角洲沉积模式研究

焉耆盆地侏罗系三工河组广泛发育由辫状河进积到湖泊中形成的辫状河三角洲。这种三角洲特征显著不同于其它三角洲,其主体是辫状分流河道和水下分流河道。宝浪油田含油层段主体为辫状分流河道,以心滩发育为主要特征,是典型的浅水缓坡粗粒辫状河三角洲沉积。     

含氟丙烯酸醋微乳液改性水性PUA

以全氟辛酸铵／十二烷基硫酸钠为复合乳化剂，过硫酸铵为引发剂，合成了丙烯酸丁酯(BA)与甲基丙烯酸-2-(全氟壬烯氧基)乙酯(FNEMA)共聚物微乳液(粒径为72nm)，并将其与聚氨酯脲-丙烯酸酯(PUA)水分散液进行了共混改性。结果表明，在基本上不影响改性PUA膜吸水率的前提下，改性PUA水分散液的表面张力明显下降，改性膜表面的疏水性显著增强。     

Grain Growth Behavior of 5Cr21Mn9Ni4N Steel Micro-Alloyed by Rare Earth

Grain growth behavior of 5Cr21Mn9Ni4NRE steel was experimentally studied at various solid solution treatment temperatures and holding for different times. The experimental results show that the 5Cr21Mn9Ni4NRE steel has the feature of sharp austenite grain coarsening after solid solution treatment at the temperature above 1150 ℃. RE added in the steel has the benefit to restrain grain growth and increase grain growth activation energy.     

薄板坯连铸连轧流程Ti微合金化高强钢开发与应用

在薄板坯连铸连轧流程上，经过对Ti微合金化技术研究，有效解决了Ti微合金化强度性能波动大的问题，开发出屈服强度450～700MPa高强钢。对试制钢组织性能和工业应用分析研究，表明该产品通板性能良好，通板强度差30MPa左右；成形性能良好，d=0时冷弯测试全部合格；同时还具有良好焊接性能，焊接后，强度波动较小，均在母材部位断开；试制钢显微组织为珠光体和铁素体，晶粒均匀细小，平均尺寸为4～8／μm；实物质量满足集装箱和汽车制造行业要求，具有广阔市场前景。     

德科学院发明激光器可诊断早期皮肤癌

这种激光器是由柏林的马科斯-尔恩非线性光学和高速光谱研究所研制成功的。使用了一种名为“毫微微秒激光”,可用超短脉冲的形式发射出红外线。红外线刺激皮肤上的黑色素使其发出一种微弱的有色荧光。通过这种荧光医生就可判断患者皮肤癌发展到什么程度。这一项目的负责人迪特·罗伊波特说:“通过这个仪器,我们还可以准确判断某处皮肤组织从健康发展到癌的转变过程。”该仪器的样机目前正处于临床试用阶段,估计到2007年将会广泛用于临床。(No.11)德科学院发明激光器可诊断早期皮肤癌     

微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信

硅微机械技术是一种新兴技术，它几乎影响着每一个科学技术领域，如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微／纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说，是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系，如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系，用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而，这种结构并不是集成电路，还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件，诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面，微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件，如数据调制器，可变襄减器、光开关、主动均衡器、插／分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源，有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。