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991.
992.
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源.研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要.本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板.结果表明,屏蔽板的使用不仅极大地降低了干扰等离子体参量测量的等离子体射频电位,而且也降低了线圈中的放电电流和等离子体中的轴向微分磁场信号强度,但Ar等离子体的发射光谱表明,法拉第屏蔽的采用对等离子体功率吸收的影响不大.对测量信号中出现的高次谐波行为也做了定性的讨论. 相似文献
993.
基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据. 相似文献
994.
对电感耦合等离子体原子发射光谱法测定高纯铋( >4N)中Cu、Fe、Pb等8种元素的含量进行了研究,考察了基体元素铋对杂质元素的光谱和非光谱干扰以及基体浓度对杂质元素谱线信背比和检出线的影响。在优化的实验条件下,获得了满意的结果。 相似文献
995.
利用有限元软件ANSYS,建立了包含摇篮架在内的铝电解槽完整的有限元模型。针对沈阳铝镁设计研究院设计的300kA铝电解槽,进行了三维电热场耦合分析。模拟结果说明所建模型是正确的,为电解槽的优化设计和改造提供参考。 相似文献
996.
介绍了采用电感耦合等离子体质谱法(ICP—MS)对钽粉中微量杂质磷进行测定的方法。通过使用耐氢氟酸的惰性进样系统、屏蔽炬(shned torch)和冷等离子体技术,以及对测试条件的探讨,成功地运用标准加入法测量了金属钽粉中微量磷的含量。 相似文献
997.
随机脉宽调制技术可以使逆变器输出电压的谐波成分均匀地分布在一个较宽的频率范围内,达到抑制噪声和机械振动的目的.把随机脉宽调制技术引入感应电机矢量控制系统中,保证了调速系统的高性能,同时也降低了电机的有色噪声和机械振动. 相似文献
998.
单相电源供电时三相感应电动机瞬态仿真研究 总被引:3,自引:0,他引:3
对三相感应电动机由单相电源供电和用电容器作为相平衡器的瞬态行为进行仿真分析。为了得到瞬态特性,根据三相感应电动机在A、B、C相坐标系下的动态数学模型和推导出三相定子绕组端电压约束条件,编写计算机仿真程序,通过实例对Y接法的三相感应电动机由单相电源供电和用电容器作为相平衡器时的瞬态过程进行仿真计算,对仿真结果进行分析;用对称分量法分析了电动机对称运行时需要满足的条件,并由此初步计算电容的数值,然后通过计算机仿真较准确地加以确定。 相似文献
999.
1000.
两相纳米晶稀土永磁材料的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
两相纳米晶复合交换耦合稀土永磁材料由于具有高剩磁、高磁能积、高矫顽力和相对低的稀土含量等优点而成为当前国际上研制新一代稀土永磁材料的主要途径。文章综述了其理论模型、磁特性和加工方法,以及存在的问题和发展前景。 相似文献