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本文介绍了一种热丝阴极等离子枪的基本性能,测试了灯丝与主弧在各工艺档上伏 安特性以及聚焦电流和Ar气压强对主弧的影响,认为热丝阴极枪性能稳定,完全满足 刀具TiN镀层工艺使用要求,并对存在的问题进行了讨论. 相似文献
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本给出用等离子化学气相沉积(PCVD)技术制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜结构的俄歇谱(AES)剖面分析、透射电镜(TEM)断面形貌和扫描电镜(SEM)表面形貌的实验研究结果。AES剖面分析和TEM断面形貌图显示在SnO2与Fe2O3界面区有一个约35nm厚的过渡层存在,其质地松散。实验还发现这个界面过渡层的存在缓解了层间应力,增强了SnO2薄膜的附着力,对该双层膜的气敏特性有明显的控制作用;但当SnO2层厚大于270nm时,其控制作用几乎完全消失。 相似文献
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