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磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
蓝宝石晶体已经成为现代工业,尤其是微电子及光电子产业极为重要的衬底材料,提高其化学机械抛光效率是业界无法回避的问题。在CMP系统中,磨料是决定去除速率及表面状态的重要因素。分析了化学机械抛光过程中抛光液中磨料的作用以及抛光机理,在确保表面状态的基础上,研究了抛光液中磨料体积分数、粒径和抛光液的黏度对速率的影响,指出纳米磨料是蓝宝石衬底抛光的最佳磨料。选用合适的磨料体积分数、粒径及抛光液黏度,不仅获得了良好的去除速率,而且有效地解决了表面状态方面的问题。 相似文献
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LYDZ型除尘器集离心除尘和布袋除尘于一体,减化了流程,缩小了占地面积。该除尘器用于啤酒厂的辅料加工工段,可有效地除去辅料中的麦皮、稻壳、金属杂质及粉尘。(益平) 相似文献
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精煤固结起动流速试验研究 总被引:4,自引:0,他引:4
本文对株州精煤在不同水深,不同淤积历时条件下的起动流速试验成果进行了分析,初步得出精煤出现固结的临界粒径范围。同时对模型沙的基本物理特性随沉积时间的变化进行了对比分析,找出了其相应关系。 相似文献
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ABS树脂是一种高强度、高韧性、易于成型的热塑性材料,广泛应用于各个领域.本文对ABS树脂技术的发展趋势做了简单的探讨和分析. 相似文献
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乳液型高级脂肪醇类消泡剂的研制 总被引:4,自引:0,他引:4
乳状液是一种热力学不稳定的多相分散体系,其稳定性不论对于实际应用还是研究都有重要的影响.本文通过不同种类的非离子表面活性剂与同种阴离子表面活性剂复配来研制乳液型高级脂肪醇类消泡剂,研究了所选择的表面活性剂种类与质量对乳液稳定性的影响.乳液静置过程中,以动力粘度和粒径分布作为稳定性的表征方法.结果表明表面活性剂的种类与质量对高级脂肪醇乳液的稳定性有着较大的影响,从而得出了乳液稳定性较好的乳化剂配方(十二烷基二苯醚二磺酸钠:0.8%,MOA-4:1.0%,Span80:0.3%). 相似文献
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阐述了陕北地区的水土状况,通过对从陕北采回的土样进行实验测试并作出土壤颗粒粒径分析,然后有针对性地对采样地设计出水土保持用的非织造土工合成材料的关键参数,同时对该非织造布的生产方式作出选择,为今后水土保持和植被培育提供了前期的准备工作。 相似文献