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51.
对磁控溅射PZT铁电多层薄膜进行了分析。结果表明:通过多层薄膜合理的设计和厚度控制,可以改善薄膜进一步的器件应用提供了可能性。通过研究发现,制备多层较理想的溅射条件是衬底温度T=650℃,薄膜子层厚度约为300nm,衬底则以MgO(100)单晶、Si2(100)单晶为佳。结构分析的结果显示出:PZT以铁电膜中的晶粒排列整齐,颗粒大小均匀,基本上和衬底成定向织构,膜的角度对多层膜的绝缘性能影响不大, 相似文献
52.
对射频磁控溅射沉积的ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了电子束处理和热退火处理。通过XRD,XPS,SEM等的微观分析,研究了薄膜的相结构组成,薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的而进行的后处理的方式选择作了讨论。 相似文献
53.
流程图画面是DCS控制系统操作员与工艺过程的重要界面,该画面的设计直接关系到操作员能否方便地操作、监视和控制工艺过程,因此流程图画面的设计是DCS应用软件设计的一个重要组成部分。本文以TDC-3000系统为例,结合工程的实际应用,分析了DCS流程图画面设计及绘制时应注意的问题,介绍了DCS流程图画面设计及绘制的一些技巧方法,并给出了一个用户专用操作画面设计的实例,对DCS应用软件的工程设计具有一定的借鉴作用。 相似文献
54.
55.
SnO2光敏,气敏元件的性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了用常压蒸发法制备的SnO2薄膜的光敏性能和用烧结法制备的圆珠状气敏元件的气敏性能。初步探讨了其结构与机理。指出进行集光敏、气敏全一体的传感器的研究。 相似文献
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57.
58.
本文用spp(surface-plasmon-polariton)的色散关系的量子力学表示式,讨论了薄膜MIM隧道结的起始发光电压(阈值电压);描述了几种系统MIM结的I-V特性曲线、发射光谱特性曲线,负阻效应及稀土元素的作用. 相似文献
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60.