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本文采用等效波导光栅F-p腔方法分析了有耗情况下LiNbO3光波导DBR结构的透射特性,给出了利用这一结构设计电光强度调制器以及电调频分器的方法。 相似文献
95.
氮化硅薄膜的PECVD生长及其性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用PECVD法,反应温度为250℃,反应气体为NH3,SiH4,在抛光硅片上沉积0.2~0.4μm厚的氮化硅薄膜。对这种Si3N4薄膜的光学性能和电学性能进行了测试,其光学折射率为1.875,电阻率及击穿场强分别为8×1016Ω·cm及1×107V/cm,并用FTIR谱分析了薄膜的化学结构。 相似文献
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Direct quantitative comparisons of four different probe methods were performed for determination of local gas holdup, vertical bubble length, bubble rising velocity, and bubble frequency. The methods include vertically projecting electroresistivity, horizontally projecting electroresistivity, U-shape light reflection, and light transmission. The measured bubble properties strongly depended on the size and configuration of the probe tips. The light transmission probe developed in this work can be used to determine the bubble properties effectively. In order to minimize interferences with bubble flow, the size of probe tip should be small as possible and its configuration must be vertically projecting. 相似文献
98.
This paper proposes rate-maximized (MR) joint subcarrier pairing (SP) and power allocation (PA) (MR-SP&PA),a novel scheme for maximizing the weighted sum rate of the orthogonal-frequency-division multiplexing (OFDM) relaying system with a decode-and-forward (DF) relay.MR-SP&PA is based on the joint optimization of both SP and power allocation with total power constraint,and formulated as a mixed integer programming problem in the paper.The programming problem is then transformed to a convex optimization problem by using continuous relaxation,and solved in the Lagrangian dual domain.Simulation results show that MR-SP&PA can maximize the weighted sum rate under total power constraint and outperform equal power allocation (EPA) and proportion power allocation (PCG). 相似文献
99.
Embedded benzocyclobutene in silicon: An integrated fabrication process for electrical and thermal isolation in MEMS 总被引:1,自引:0,他引:1
Alireza Modafe 《Microelectronic Engineering》2005,82(2):154-167
This paper reports a novel fabrication process to develop planarized isolated islands of benzocyclobutene (BCB) polymer embedded in a silicon substrate. Embedded BCB in silicon (EBiS) can be used as an alternative to silicon dioxide in fabrication of electrostatic micromotors, microgenerators, and other microelectromechanical devices. EBiS takes advantage of the low dielectric constant and thermal conductivity of BCB polymers to develop electrical and thermal isolation integrated in silicon. The process involves conventional microfabrication techniques such as photolithography, deep reactive ion etching, and chemical mechanical planarization (CMP). We have characterized CMP of BCB polymers in detail since CMP is a key step in EBiS process. Atomic force microscopy (AFM) and elipsometry of blanket BCB films before and after CMP show that higher polishing down force pressure and speed lead to higher removal rate at the expense of higher surface roughness, non-uniformity, and scratch density. This is expected since BCB is a softer material compared to inorganic films such as silicon dioxide. We have observed that as the cure temperature of BCB increases beyond 200 °C, the CMP removal rate decreases drastically. The results from optical microscopy, scanning electron microscopy, and optical profilometry show excellent planarized surfaces on the EBiS islands. An average step height reduction of more than 95% was achieved after two BCB deposition and three CMP steps. 相似文献
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经管类专业IT支撑课程群实验体系是培养学生实践动手能力的重要途径,对学习各专业的后续课程起到支撑作用。针对如何让经管类学生快速掌握现代信息技术这一问题,结合山东财经大学经管类人才的培养目标,提出构建以跨学科综合实验为主要内容的IT支撑课程群实验体系。从学生反馈以及考试结果来看,学生学习兴趣以及学习效果均取得了较大提高。 相似文献