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61.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作   总被引:5,自引:1,他引:4  
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。  相似文献   
62.
63.
64.
樊文稷 《钢管》1994,(1):21-22
介绍了高上山成型法的工艺特点及理论上的可行性和实践中的可靠性,此方法能有效地解决薄钢带波浪状边缘的焊接方面存在的问题。  相似文献   
65.
This paper presents an efficient method which provides the optimal generation mix and the optimal generation construction process. The approximation method in which the dynamic programming technique and gradient method are combined is applied to determine the optimal generation mix with hydropower generation technologies. The successive approximations dynamic programming (SADP) technique, which is very suitable for high-dimensional multistage decision process problems, is used for obtaining the optimal generation construction process. The effectiveness and feasibility of the developed technique are demonstrated on a practical power system model which has five types of generation technologies including a hydropower generation technology.  相似文献   
66.
What has become known as Community Operational Research has been around in the UK for many years. The election of Jonathan Rosenhead as President of the UK OR Society in 1986–87 was the catalyst for bringing together and expanding activities which had been carried out largely by individuals working in isolation on a voluntary basis. The following five years have seen the establishment of the Community OR Unit at Northern College, the Centre for Community OR at Hull University and the Community OR Network, which supports the activities of volunteer OR workers across the UK. This paper reviews the range and types of work which have been undertaken by various practitioners. An assessment of the success of community OR is made and a number of issues which have arisen are discussed. Finally, given the diverse nature of community OR, its practice and practitioners, there is some discussion about the future of the area.  相似文献   
67.
王界平  王清平 《微电子学》1996,26(3):150-152
SOI材料的全介质隔离技术与高频互补双极工艺的结合是研制抗辐照能力强、频带宽、速度高的集成运算放大器的理想途径,从实验的角度提出了一种SOI材料全介质隔离与高频互补双极工艺兼容的工艺途径。  相似文献   
68.
吴正立  严利人 《微电子学》1996,26(3):189-191
隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。  相似文献   
69.
There is a need for developing low cost, easily and abundantly available, yet efficient, adsorbents for the removal of phosphates during the tertiary treatment of wastewaters. The tamarind nut shell activated carbon (TNSAC) prepared on a laboratory scale has been used to evaluate its performance for phosphate adsorption. This paper describes the laboratory production of this adsorbent material in its various forms, and discusses the effects of the TNSAC process variables (the unrinsed and rinsed forms of the TNSAC and the impregnation ratio) on its performance in adsorbing phosphate. The material has been shown to be a good alternative adsorbent. As much as 95% phosphate removal by the unrinsed TNSAC is possible in about 30 min under the test conditions. The phosphate adsorbing capacity is about two times higher for the unrinsed TNSAC in comparison to the rinsed TNSAC. The adsorption rates, however, transit to extremely low rates towards the end when equilibrium conditions could be attained in about 2 h contact time. The phosphate removal mechanics are adsorption and precipitation/ion exchange when unrinsed TNSAC is used, and adsorption alone for the rinsed TNSAC. The maximum phosphate removal is found to take place at an impregnation ratio of 1.0 for both forms of the TNSAC.  相似文献   
70.
王冰 《水力发电》1994,(10):27-31
随着GIS的工作电压不断提高和发展,一系列新的现象和问题也同时出现。从国外一些科研,设计,制造部门所研究发表的内容看,大致有隔离开关操作和高速瞬变过程,粒子影响和对干扰定位的技术,元件的监督,现场试验等课题,本文对以上问题加以综合介绍。  相似文献   
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