磨料层动态平衡对蓝宝石衬底粗磨过程影响研究

在对蓝宝石衬底进行粗磨时,需采用大颗粒高硬度磨料以缩短用时。考虑到大颗粒磨料流动性和悬浮性弱的特征,通过监测去除量的指针的摆动情况研究粗磨过程中磨料颗粒的分布和运动规律,表明磨料层的动态平衡性对衬底的厚度均匀性和表面质量具有决定性影响,而该平衡的建立依赖于致密、均匀的初始磨料层,粗磨过程中补充的磨料仅能维持已有的平衡,不能在已失衡的情况下进行补救。该工作有助于提高粗磨工艺控制水平,并对深入研究研磨过程中磨料颗粒的运动情况具有一定的指导意义。     

晶片减薄技术原理概况

从对晶片减薄的质量要求角度出发,论述了垂直缓进给(Creep-Feed)晶片减薄原理与垂直切深进给(In-Feed)晶片减薄原理。提出原理设计中的原则和相关问题。     

低刚度细长杆零件电火花磨削加工工艺研究

对低刚度细长杆类零件采用板状电极进行了电火花磨削加工 (EDG)工艺试验研究。结果表明 ,EDG比WEDG具有更高的生产率 ,更好的几何精度和表面粗糙度。     

膨化硝铵炸药生产专用碾混机安全性研究

为研究碾混机在混药过程中的安全性,通过分析碾混机结构,调节进料速度、刮板角度和碾混机转速来进行生产极限的试验,观察混药过程中堵料情况,测试混药后炸药爆速,分析和讨论碾混机混药过程的安全性.研究结果表明,当碾混机转速为22.8 r·min-1,进料速度为4t·h-1,刮板角度为24°条件下,碾混机运行具有较高的安全性,混...     

环境温度波动对磨床立柱几何精度的影响

针对环境温度波动的变化造成机床热误差从而影响其加工精度的问题,以实验室某磨床立柱为研究对象,采用有限元分析法对不同环境温度波动下的磨床立柱的温度场和热变形情况进行了仿真分析,进而得到了环境温度波动幅值和频率对其几何精度的影响规律。研究结果表明,当环境温度波动幅值为2 、波动周期为2/3 h时,立柱导轨的垂直度热误差＜1 μm,直线度热误差＜0.5 μm。在保证磨床加工精度的同时,可大幅减小车间温度控制的难度,节约能源。     

二维超声磨削纳米复相陶瓷表面残余应力研究

采用二维超声振动磨削和普通磨削方式,利用X射线衍射仪,对纳米复相陶瓷和氧化锆陶瓷表面残余应力的性质及大小进行了研究。实验表明,残余应力是磨削条件、相变应力和裂纹释放应力综合作用的结果。得到结论:在相同的磨削条件下,超声磨削的切向残余拉应力比普通磨削方式的小,法向残余压应力则比普通磨削的大;磨粒尺寸越小,残余拉应力越小;材料以塑性方式去除时,残余应力表现为压应力;超声磨削的m相变率比普通磨削的小。     

研磨改性废轮胎热解炭黑及其应用研究

本文主要研究采用研磨的方法改性CBp,并将其应用到丁苯橡胶中,对比考察了不同研磨时间的CBp、未改性CBp、N774的粒径分布差异及在丁苯橡胶中的性能差异。研究结果表明：研磨的方法可有效减小CBp的粒径,有助于其在橡胶中更好的分散,且研磨时间越长,炭黑粒子粒径越小,门尼粘度越大,扭矩差越大。研磨后的CBp补强的丁苯橡胶的拉伸强度、撕裂强度、300%定伸强度、硬度得到有效提高,综合改性效果良好。     

双激励超声波椭圆振动磨削装置设计及优化

基于ANSYS Workbench多目标驱动模块对双激励超声波椭圆振动磨削(UEVG)装置进行优化设计。基于等效电路法设计前盖板是λ/4(λ为波长)复合变幅杆的半波长换能器,先后建立带有载物台的变幅杆及UEVG装置的参数化模型进行模态、谐响应分析。根据10个设计点模态分析确定变幅杆最优尺寸,在此基础上通过42个设计点仿真分析获得UEVG装置的谐振频率、节面位置与结构尺寸的关系,并优化尺寸。优化后UEVG装置的谐振频率与理论设计频率的误差为0.24%,振幅高达16.7μm。     

300 mm Si片加工及最新发展

65 nm及以下线宽对Si片表面的各方面性能要求越来越高,主要体现在两个方面,一个是加工工艺,另一个是加工设备.在加工方法上,65 nm线宽用300 mm Si片不同于90 nm,如运用多步单片精密磨削,不仅可以提高表面几何参数,还可以减小表面特别是亚表面的损伤层.而对于加工设备,要求更加精密,特别是单面精抛光,在保证去除量的同时还要使Si片表面各点的去除量保持均匀.对目前300 mm Si片的磨削、抛光及清洗的每一道工艺流程,特别是相对于65 nm技术的一些加工流程及方法的最新发展进行了详细的论述,指出了300 mm Si片加工工艺的发展趋势.     

固结磨料流体动压磨削理论研究

为实现确定磨盘的磨削深度控制,减少加工中不同粒度工具的更换次数从而提高加工效率,流体动压状态下的固结磨料加工工艺第一次被提出。在完成磨盘表面形貌建模的基础上,以磨盘和工件间隙中的磨削液膜为研究对象,建立了瞬态等温条件下的流体润滑方程,并利用显示有限差分算法求得数值解。计算结果表明:通过调节动压力来控制磨削深度是可行的,因为液膜动压力随磨盘最大磨削深度的减小而有明显的上升趋势,分布也趋于平坦;提高入口压力时,动压力明显增大,但也加剧了其分布的不均匀性;因为受制于磨盘表面形貌以及加工质量要求,转速对动压力的影响并不显著。