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42.
随着半导体技术的发展,越来越多的立式炉管在200mm及300mm集成电路晶圆制造中被应用到。同时炉管制程中的片数效应随着集成电路芯片的集成度越来越高而被凸显出来。文章将以LPCVD氮化硅在0.16μm、64M堆叠式内存制造过程中的片数效应为例,阐述炉管制程工艺中的片数效应以及通过调整制程参数(温度、沉积时间)的方式予以解决的实例。文中通过调整炉管上中下的温度来补偿气体的分布不均匀,调整沉积时间来补偿不同片数的沉积速率的差异,两者结合并辅以基于片数的分片程式来解氮化硅电介质沉积的片数效应。同时以此为基础总结出炉管片数效应的解决方案。 相似文献
43.
网络动态负载均衡算法分析 总被引:1,自引:0,他引:1
在阐述网络负载基本概念的基础上.分析了基本的网络负载均衡算法并对动态反馈负载均衡进行了探讨。 相似文献
44.
激光活塞热负荷模拟实验需将高斯光束调制成按特定光强分布的多个同心光环,为此提出了基于有限元(FE)分析的激光热负荷光强分布反求设计思想。应用最初设计的整形器对有限元模型进行校核,在合理的范围内调整边界条件参数和活塞材料热物性参数,使模拟结果与实验结果吻合;对于校核后的有限元模型,通过调整光强分布和加载条件以接近目标温度场,从而获得整形器优化设计方案。基于上述方法可实现由目标温度场反求设计出光场分布。研究表明,采用数值模拟方法进行研究,可大幅度缩短整形器设计周期、降低设计费用,并起到虚拟实验的作用,从而提高了热负荷实验的可控性和可预见性。 相似文献
45.
在传统准八木天线的基础上结合小型化技术,提出了一种新型的小型化准八木天线.天线结构上,对天线的馈电结构部分进行合理布局减小天线的纵向尺寸;对反射器和馈源振子进行容性加载,增加电流路径长度,进而减小天线的横向尺寸.确定结构后,利用HFSS软件对模型的相关参数进行仿真优化.天线测试结果显示,在射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)美标UHF频段902~928 MHz内实测结果与仿真结果吻合较好,其中增益为6.8 dBi,驻波系数小于1.4,主瓣交叉极化比大于40 dB.天线的尺寸仅为110 mm×105 mm,约为λ0/3×λ0/3(λ0为中心频点自由空间波长),体现了小型化和优秀的电气性能. 相似文献
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在航空航天、高端装备制造领域,常伴随着大力值比载荷的产生,为监测其工作状态,需要对大力值比载荷大小、方向进行准确测量。该文以压电式力测试系统为研究对象,提出一种用于测力仪标定的旋转模拟加载方法。首先,基于力分解原理,结合标定装置的实际轴线与理论轴线的偏差原理,得到模拟加载过程中侧向合力随加载方位角变化的几何分布规律。针对侧向力理论波动的特点,提出一种新的模拟加载方法-旋转模拟加载法。最后设计了矢量力模拟加载实验,对测试系统应用非旋转模拟加载方法和旋转加载法进行试验对比。结果表明,应用旋转加载标定法时,测力仪侧向合力输出误差最大降低了18.7%F.S.,验证了旋转模拟加载方法的可行性和合理性。 相似文献
47.
Maryam Fattahi Hassan Abedini Mohammad Amin Anbaz 《Petroleum Science and Technology》2017,35(11):1117-1123
Favorable properties of aqueous solutions are improved with the addition of different materials for separation of hydrogen sulfide (H2S). Also, equilibrium data and available equations for solubility estimation of this gas are only valid for specific solutions and limited ranges of temperature and pressure. In this regard, a machine learning model based on Support vector machine (SVM) algorithm is proposed and developed with mixtures containing different amines and ionic liquids to predict H2S solubility over wide ranges of temperature (298–434.5 K), pressure (13–9319 kPa), overall mass concentration (3.82–100%) and mixture's apparent molecular weight (18.39–556.17 g/mol). The accuracy of the performance of this network was evaluated by regression analysis on calculated and experimental data, which had not been used in network training. 相似文献
48.
针对非正撞击/侵彻情况下的弹体结构动响应预示问题,将球形腔膨胀理论与经验方法结合,提出了一种弹体非正撞击/侵彻动载荷计算的半经验方法.基于本文半经验方法,沿终点弹道计算侵彻弹体的动载荷时间历程,进一步运用模态叠加法求解弹体结构动响应,对多个弹体算例的侵彻过载和应力进行预示并与数值仿真结果对比表明本文方法具有较强适应性,... 相似文献
49.
贾保印 《石油与天然气化工》2018,47(3):49-53
应用HYSYS Dynamic流程模拟软件,建立了LNG槽车装车的动态模型,实时模拟两种装车方式所产生BOG的压力、温度、流量、槽车压力等参数随时间的变化。模拟结果分析得出:装车结束时,带压装车方式具有槽车储罐压力高,装车累积流量、BOG产生量少,运行费用低,卸车时间短等特点,具有较强的可行性和经济性。 相似文献
50.
为了建成上海市 7号信令网 ,保证全网的安全割接过渡 ,需要对设计方案中正常工作时每根链路承担 0 2E的设计依据进行验证。因此 ,模拟实际情况 ,运用模拟呼叫机和人工拨测相结合的方式 ,对全网所有在用制式 :DMS 1 0 0、F 1 5 0、S 1 2 40 ,进行了满负荷实测。经过测试 ,积累大量数据 ,并得出相应结论 :DMS STP、F 1 5 0符合厂商设计指标 ,分别达到 0 49E、0 5 4E ;S 1 2 40没有符合要求 ,在保证通信质量的条件下 ,只能在 0 2 3E以下使用。另外 ,S 1 2 40系统只有 2根A链路时 ,若一根发生故障 ,另一根因超负荷而翻转 ,就必须将话务量降低到一定程度才能恢复。 相似文献