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用矢量Rayleigh-Sommerfeld(VRS)衍射理论分析计算了高数值孔径多台阶相幅型菲涅耳波带片(M-SHFZP)的聚焦场分布。当线性偏振光垂直入射到M-SHFZP,结果显示:1)由于薄膜透射率随着刻蚀台阶深度发生变化,致使实际的M-SHFZP的聚焦强度小于多台阶纯相位型菲涅耳波带片(M-SPFZP)的聚焦强度,但是M-SHFZP的聚焦光斑大小基本上与M-SPFZP的相同;2)聚焦光的强度随着台阶数的增加而增加,但聚焦光斑的大小不随台阶数变化;3)对于低数值孔径的M-SHFZP,光轴上的强度呈现一个多焦点分布,但是对于高数值孔径的M-SHFZP,高级焦点的强度被大大抑制。台阶数愈多,数值孔径愈大,抑制高级次焦点的能力愈强。VRS矢量衍射理论的计算结果与时域有限差分法(FDTD)模拟结果基本一致。 相似文献
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化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技术是最有效的晶圆全局平坦化技术,抛光头是CMP设备中最核心的部件之一,新一代抛光头的设计主要采用区域压力控制技术。硅片抛光质量不仅取决于抛光液,还取决于对硅片抛光压力的精确控制。在CMP抛光工艺过程中各腔室的压力设定值通常并非一致,而且由于柔性弹性隔膜的存在各腔室之间相互耦合。由于耦合现象的存在使得多区腔室压力控制变得复杂化,针对这一耦合现象本文提出了一种用于多区解耦的控制方法,并基于该方法对多腔室进行了系统辨识以及控制参数整定,最后进行了多腔室同时加压实验,实验结果表明该解耦控制方法的可行性以及正确性。 相似文献
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海面低仰角数字微波通信系统性能及体制分析 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了海面低仰角数字微波通信系统的特点,对海面电波多径衰落进行了理论计算,指出了通信系统抗衰落的方法和手段,并给出了一种抗衰落通信系统在海面通信试验中的测试数据。 相似文献
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Industrialized white organic light-emitting diodes (OLEDs) currently require host-guest doping, a complicated process necessitating precise control of the guest concentration to get high efficiency and stability. Two doping-free, hybrid white OLEDs with fluorescent blue, and phosphorescent green and red emissive layers (EMLs) are reported in this work. An ultra-thin red phosphorescent EML was situated in a blue-emitting electron transport layer (ETL), while the ultra-thin green phosphorescent EML was placed either in the ETL (Device 1), or the hole transport layer (HTL) (Device 2). Device 2 exhibits higher efficiency and more stable spectrum due to the enhanced utilization of excitons by ultra-thin green EML at the exciton generation zone within the HTL. Values of current efficiency (CE), power efficiency (PE), and CRI obtained for the optimized hybrid white OLEDs fabricated through a doping-free process were of 23.2 cd/A, 20.5 lm/W and 82 at 1000 cd/m2, respectively. 相似文献
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汽车覆盖件模具激光表面强化中环带区域的测量及轨迹规划 总被引:1,自引:0,他引:1
在模具表面激光强化中,测量及轨迹规划是工艺实值墓丶方?本文针对汽车覆盖件模具表面较为常见的侧壁结构,从中抽取出更为基本的一类型面--环带,提出了一种基于特征线的环带测量及轨迹规划的方法.并且在建立环带数学模型的基础上对误差进行了分析,证明了这种方法不仅简单、高效,而且满足相应的加工工艺要求. 相似文献
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针对重力测量中海空重力仪需要时刻保持稳定的垂直指向的问题,设计了一种双环比例、积分、微分(PID)控制方法来控制平台水平,隔离外界扰动;针对力矩电机设计中存在死区的特性,提出了一种死区补偿函数,减小电机死区对控制精度的影响;针对双环PID参数难以整定的问题,设计了一种优化的差分进化(DE)算法,减小参数整定时的工作量。仿真和实测实验结果表明,基于双环PID控制和死区补偿的系统稳定性高,控制精度优于30″;改进DE算法的参数整定性能优于遗传(GA)算法和粒子群(PSO)算法,且计算量小。 相似文献
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