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真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年,随着激光技术的发展,人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高,离子辅助沉积薄膜技术已被广泛用来作为一种改善光学薄膜特性的工艺手段。本文简单地介绍了这项技术的原理及国内外研究现状;总结了该技术的优、缺点;客观评价了该技术的应用前景;对该技术今后的研究方向提出了建议。 相似文献
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在窄带滤波器件的研制过程中,模拟分析了采用极值法对膜层厚度进行光学监控及其偏差对滤波器件光学特性的影响,并给出了一个4腔DWDM滤波片的理想工艺曲线以及模拟计算所得到光学特性的分布曲线,计算结果有利于指导高品质薄膜器件的研制,并研制出符合工业应用标准要求3腔和4腔的100GHz,200GHz的DWDM滤波片以及CWDM滤波片。 相似文献
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浅析离子辅助光学薄膜镀膜机的特性 总被引:1,自引:0,他引:1
真空镀膜产品的质量问题,一直是应用镀膜技术人员探索的课题。人们经过长期探索,采用离子束辅助沉积镀膜技术,改善了镀膜层牢固性,提高了反射率。本技术在通讯技术、太阳能应用、汽车、装潢等领域应用十分广泛。本文介绍了真空离子束辅助沉积镀膜设备特性。 相似文献
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本文讨论光学薄膜的激光损伤类型及原因,探讨底板表面光洁度的影响,就减反膜和反射膜的激光损伤加以研究,提出几种提高抗激光能力的方法。 相似文献
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光谱透反射率测定装置 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了用于测量光学薄膜和光学零件的光谱透射率,反射率和光学损耗的测试装置,测试过程由计算机自动控制并数据处理,装置对透,反射率的测试精度分别可达0.1%和0.2%,文中报导了样品的实测结果。 相似文献