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本文主要阐述研制微米/亚微米测试校正版的意义,在研制过程中解决电子束邻近效应、拼接校正、等离子刻蚀、测试技术等几个关键技术问题。完成了多功能、大范围、高精度、边缘较好的微米/亚微米测试校正版。通过测试、分析可以应用于各单位的条宽测量仪器的校正,解决了CD尺寸测试中存在的系统误差问题。这项技术对我公司以及外协单位条宽测试仪的CD尺寸值统一有着重大意义。 相似文献
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在入射光是会聚光、白光的条件下,探求了一种估算0.5微米聚苯乙烯标准粒子散射光光通量数量级的简捷方法。该方法是基于0.5微米粒子在光照区内能截获的光通量总量.通过实验对比,认为该估算方法是可行的。 相似文献
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大型超细搅拌磨在亚微米级重质碳酸钙生产中的应用 总被引:3,自引:1,他引:3
本文介绍了大型超细搅拌磨的基本结构特点和工作原理,以及在重质碳酸钙粉碎中研磨机的应用历史和设备的发展过程,设计出了符合中国国情并且具有知识产权的超细磨矿设备--大型立式超细搅拌磨机,提高了产品品质,降低了能耗,在亚微米级重钙生产中得到了广泛应用。 相似文献
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