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本文概述了离子注入过程中污染产生的原因和防止污染的措施，特别强调了对微粒污染和金属污染的防护以满足ＵＬＳＩ加工对离子注入的要求。 相似文献
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田敬民 《固体电子学研究与进展》1996,16(3):284-288
采用静电喷雾高温分解工艺制备ＳｎＯ２气敏膜，并与Ｓｉ３Ｎ４－ＳｉＯ２集成多层介质膜，用催化金属Ｐｔ作栅电极，制成新型的ＭＳＩＳ结构气敏电容。通过检测平带电压的变化，研究对Ｈ２和Ｏ２的气敏特性，分析其气敏机理并提出了检测的物理模型． 相似文献
74.
通过氟塑料－石墨板式换热器在化纤生产中高温强腐蚀换热工况中的实际应用，并与常规换热器的使用情况的对比分析，阐述了这种新型换热设备的特点。 相似文献
75.
76.
介绍了株洲冶炼为锌十万吨改造工程而配套设置的５＃挥发窑等系统的设计改进概况，这次改造在工艺流程，设备选择方面均比老系统有很大改进，是一项较成功的改造工程。 相似文献
77.
本文以系统节能和提高综合经济效益的观点，分析了金属换热器传热系数的影响因素及提高途径；气流阻力与动力消耗；传热面积与投资的定量关系。为正确选用不同结构金属换热器及其性能提供了依据。 相似文献
78.
叙述了真空蒸发金属膜的形成过程和膜层结构，运用金属原子迁移理论分析了挠性力平衡力速度传感器石英摆片导带“断裂”故障，提出了增强可靠性的技术途径。 相似文献
79.
80.