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991.
飞行时间二次离子质谱--强有力的表面、界面和薄膜分析手段 总被引:8,自引:0,他引:8
二次离子质谱(Secondary ion mass spectrometry,简称SIMS)是一种对表面灵敏的质谱技术,建立在表面各种类型带正、负电荷原子或分子发射的基础上。用飞行时间(Time of flight,简称TOF)仪器对这些二次离子进行质量分析,能确保并行质量登录、高质量范围、高流通率下的高分辨和精确质量测定这些优异性能。配合细聚焦扫描一次离子束,可在优于1nm的高深度分辨和优于50nm的横向分辨本领下,实现对表面优于单层ppm(百万分之一)量级的极高检测灵敏度。当今TOF-SIMS已发展为一种成熟且完善的表面分析技术。极高的灵敏度,再加上即使对大分子及不易挥发性分子都独具的敏感性,使它成为很多高技术领域不可缺少的分析手段,这些领域包括微电子学、化学和材料科学以至纳米技术和生命科学等。本文简述了TOF-SIMS的原理、仪器及其多方面的应用和展望。 相似文献
992.
中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
993.
从微小内尺度测量角度出发,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响。结果表明,为提高系统的轴向分辨率,需将有效针孔尺寸控制在≤2.5;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜,同时,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比。 相似文献
994.
995.
溶胶-凝胶法制备疏水型SiO-2气凝胶 总被引:2,自引:0,他引:2
以正硅酸乙酯 (TEOS)为硅源 ,用三甲基氯硅烷 (TMCS)为疏水试剂 ,通过溶胶 凝胶法在室温下制备出疏水型SiO2 气凝胶。用傅立叶变温红外 (FT IR)、扫描电镜 (SEM)、透射电镜 (TEM)和吸水性能对疏水型SiO2气凝胶的结构和性能进行了研究 相似文献
996.
997.
Yaxin Tang 《Materials and Manufacturing Processes》2002,17(6):789-796
An experimental apparatus was designed and built for the hybrid process of laser enhanced electrochemical machining (ECM). Comparison experiments had been done between solely ECM and laser enhanced ECM. The machining performance of hybrid process was investigated and compared with solely ECM. The principle of the hybrid process was exposed by analyzing the microstructure of machining surface. The results show that the hybrid process has advantages in machining accuracy, surface quality, and machining efficiency. 相似文献
998.
并行程序设计环境MPICH的应用机理分析 总被引:5,自引:0,他引:5
阐述了在PC集群中运用消息传递接口MPICH(Message Passing Interface and Chameleon)进行并行程序设计的基本方法,并以计算圆周率π值的并行算法程序为例,介绍了MPICH中基本例程的功能和调用方法,并行程序设计的关键技术是如何处理好各个进程之间的通信问题,MPICH采用紧迫协议和约定协议来协调各个进程之间的通信,同时也提供了一些阻塞处理函数和非阻塞处理函数,它们能够使进程充分利用系统资源,大大增加用户编程的灵活性。 相似文献
999.
1000.