CMP系统技术与市场

概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。     

溶胶-凝胶法合成纳米多孔SiO2-TiO2块材的化学稳定性

以正硅酸乙酯、钛酸正丁酯和聚乙二醇等为主要原料，采用溶胶-凝胶法成功合成了多孔SiO2-TiO2系块状材料。500℃焙烧2h后材料呈现非晶态结构。引入较多钛量时，使材料的孔径分布变窄、平均孔径下降，但增加了比表面积。在80℃热水中浸泡72小时以后，吸附一脱附曲线的类型和形状几乎没有变化；随着Ti含量的增加，比表面积和孔容积的变化率减小。多孔材料在98℃的20％硫酸溶液中重量损失率随Ti含量变化不大，Ti引入并不能提高材料在酸液中的耐蚀性；但引入Ti使多孔材料在95℃NaOH碱液中的耐蚀性明显改善。     

合成丁苯嵌段共聚物的影响因素

采用负离子溶液聚合方法制备了丁苯嵌段共聚物，研究了引发剂、活化剂、偶合剂、终止剂对聚合产物性能的影响。     

日本开发一种回收氯的新工艺

日本住友化学公司使用一种新型的氧化方法从副产氯化氢中回收氯气，回收率高于９９％。这一回收率大大高于传统工艺所得到的回收率。该工艺使用负载在金属氧化物上的氧气和贵金属催化剂在汽相中氧化HCl。反应在２５０～３５０℃和几个巴的压力下进行。反应得到的氯气用浓硫酸脱氢，然后通过系列液化和汽化精制。将未转化的HCl气体循环到反应器中。住友公司已在一所异氰酸酯工厂许可了该工艺，氯气的回收装置规模为１００kt／a。日本开发一种回收氯的新工艺@郑元昌     

HRB335螺纹钢表面裂纹成因分析

用高、低倍和化学检验分析方法，对341-6052螺纹钢的表面裂纹进行了分析，发现螺纹钢表面裂纹，是由于炼钢中包和冶炼原材料烘烤不够干燥，连铸方坯上出现的皮下气泡所致。     

锌合金中镁的测定一偶氮氯磷Ⅰ比色法

介绍了用偶氮氯磷Ⅰ比色法测定锌合金中镁的方法，并对最佳掩蔽剂——邻菲罗啉的浓度进行了筛选。     

江汉油田采油工艺技术现状及发展方向

总结了江汉采油工艺30年来取得的成就，重点介绍了近年来研究并成功应用的具有江汉特色的采油工艺技术，展望了江汉采油工艺的发展方向。     

镍层耐硝酸腐蚀性测试——一种简单的预先探测ENIG镍层“黑盘”现象的测试方法

随着更加精细的SMT、BGA等表面贴装技术的运用,化学沉镍金(ENIG)作为线路板最终表面处理得到了越来越广泛的应用,同时可怕的“黑盘”现象也随之更广泛地“流行”起来,直接导致贴装后元器件焊接点不规则接触不良。为了贯彻执行最好的流程控制和采取有效的预防措施,了解这种焊接失败的产生机理是非常重要的,及早的观测到可能发生“黑盘”现象的迹象变得同样关键。本文介绍了一种简单的预先探测ENIG镍层“黑盘”现象的测试方法-镍层耐硝酸腐蚀性测试,这种测试可以用于作为一种常规的测试方法监测一般化学沉镍溶液在有效使用寿命范围内新鲜沉积的镍层的质量。利用Weibull概率统计分析在不同的金属置换周期(MTO)下镍层的可靠性能表现。结合试验结果得出了一个镍层耐硝酸腐蚀性的判定标准。