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本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的内应力变化。并通过改变钢及硬质合金基体的化学成份和表面状态。考察了基体材料对薄膜应力的影响。在此基础上,对薄膜内应力的形成机制进行了分析讨论。 相似文献
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103.
电沉积法制备233U同位素靶 总被引:1,自引:0,他引:1
对影响电沉积铀的主要因素进行了试验和讨论;用α能谱法分析了靶样品中的成分,提出了在较薄铝箔(9μm)上一次沉积厚度达8-15g/m^2的233U的制备工艺。 相似文献
104.
扫描电子显微研究表明,化学汽相沉积的金刚石薄膜中晶粒大小比较均匀。但随着沉积时间和薄膜厚度的增加,晶粒逐渐变大,且每一层内,存在少量的大金刚石颗粒,讨论了晶粒尺寸变化和大晶粒形成的原因和机制。 相似文献
105.
应用扫描电子显微镜对电沉积Cu/NiCu多层膜结构的表征张伟1薛群基1王友良2赵家政1(1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放室,兰州7300002.兰州大学材料系)近年来,由两种不同金属交替构成的多层金属复合膜的研究引起了人们极大的关注。发现... 相似文献
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107.
沥青质沉积问题文献综述 总被引:3,自引:0,他引:3
沥青质沉积问题文献综述李美霞前言在石油的生产、加工和储运过程中,沥青质沉积问题越来越受到人们的重视,目前已成为石油工业中需重点研究和解决的技术问题之一。在石油炼制过程中,将重质原油转为轻质燃料是石油研究领域的一个重要课题。在该转化过程中,沥青质不仅因... 相似文献
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宜昌地区早寒武世除天柱山期(南部和西部称岩家河期)岩性变化较大外,其他依次沉积了以黑色炭质页岩夹灰岩、细碎屑岩、石灰岩、白云岩等为主的岩性组合,反映了中扬子区岩性四分的特点。晚震旦世灯影末期区内是一个东高西低、东北高西南低的浅海沉积区。在此背景上,早寒武世早期(即天柱山期)遭受了短暂而快速海进之后,依次经历了浅海盆地边缘、斜坡带、浅海陆棚及潮坪等沉积环境的缓慢演化,显示了有规律的海退序列。在区内天柱山组、岩家河组及水井沱组等均首次发现了重力流沉积;在水井沱组下部炭质页岩所夹的薄层粉晶云岩中,首次发现了沉积型重晶石富集层。根据区内天柱山期为浅海斜坡带(岩家河期为浅海盆地边缘)、水井沱期为浅海盆地边缘至斜坡带等沉积环境判断。天柱山组(岩家河组)与水井沱组之问应为连续沉积、整合接触。图3表1参7 相似文献