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141.
Monte Carlo simulations are adopted to study the electron transport porcess in the non-uniform electric field.Some important parameters of electrons in diamond films dynamic process at low temperature via EACVD such as angle distribution,energy distribution,average energy of electrons are given.The results indicate that the electron scattering near the substrate is mainly of a large-angle scattering,exhibiting a double-peaking distribution .All of the conclusions provide some theoretical data referential to the vapor dynamic model of diamond film growth at low temperature via EACVD. 相似文献
142.
Fluorinated amorphous carbon films (a-C:F) were prepared at different temperatures using a microwave electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECR-CVD) reactor with CHF3 and C2H2 as source gases. Films were annealed at 500℃ in vacuum ambience inorder to investigate the relationship of their thermal stability, optical and electrical propertieswith deposition temperature. Results indicate that the films deposited at high temperature have a less CFx bonding and a more cross-linking structure thus a better thermal stability. They also have a lower bandgap, higher dielectric constant and higher leakage current. 相似文献
143.
金属间化合物及其制备方法--1.燃烧合成技术 总被引:1,自引:1,他引:1
对近年来成为新研究热点的金属间化合物进行了综述。着重介绍了燃烧合成技术。机械合金化技术,熔炼和熔铸技术,气相沉积法的发展趋势及现状。较为详细地介绍了上述技术的制备原理。并对其中涉及到的有关理论作了简介.首先介绍燃烧合成技术。 相似文献
144.
二连盆地阿南凹陷辫状河三角洲砾岩储集层微相模式及含油性 总被引:3,自引:0,他引:3
通过对二连盆地阿南凹陷大量岩性剖面、测井曲线、岩石学特征、储集性能、沉积构造和沉积韵律分析,认为阿南凹陷下自垩统阿尔善组第三段砾岩,是一次大的事件性沉积和近物源、粗碎屑.低成分成熟度和低结构成熟度的多源复成分砾岩.首次提出阿三段砾岩属大型辫状河三角洲相,具有三角洲所具备的三角洲平原、三角洲前缘和前三角洲的三层结构,存在以牵引流为主的沉积构造和正韵律为主的剖面特征.最终细分出水下河道等十个微相,恢复了阿三段的岩相古地理环境,建立了相模式.指出,砾岩的储集空间为原生砾间孔、砾间洞、粒间缝、次生溶蚀孔和构造缝.砾岩的储集性能、含油性好坏和油藏展布受沉积微相、砾石支撑方式和构造缝发育程度的严格控制. 相似文献
145.
基于Smith预估器原理设计了单片机控制的口腔治疗仪系统。单片机利用PWM调速原理输出控制信号调节气泵电机的转速,保持治疗仪容器内气压值恒定。Smith预估器的引入补偿了纯滞后环节对控制系统的影响,在此基础上介绍了系统硬件组成及软件编程。 相似文献
146.
147.
大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法 总被引:2,自引:0,他引:2
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程. 相似文献
148.
149.
150.
为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响。结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓。 相似文献