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以Zn(C2 H5) 2 和CO2 为反应源 ,在低温下用等离子体增强化学气相沉积方法 ,在Si衬底上外延生长了高质量的ZnO薄膜。用X射线衍射谱和光致发光谱研究了衬底温度对ZnO薄膜质量的影响。X射线衍射结果表明 ,在生长温度为2 3 0℃时制备出了高质量 ( 0 0 0 2 )择优取向的ZnO薄膜 ,其半高宽为 0 2 6°。光致发光谱显示出强的紫外自由激子发射与微弱的与氧空位相关的深缺陷发光 ,表明获得了接近化学配比的ZnO薄膜 相似文献
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1 基本情况 根据国家有关政策法令要求,工业企业用水一般必须经沉淀。过滤及冷却处理后循环使用。其中冷却设备凉水冷却塔大部分采用PVC填料加电动风机的方案,这类冷却塔由于技术比较成熟,因此应用十分广泛,但是这类冷却塔特别在污染处理中存在三大不足之处: 相似文献
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铜金属的无电电镀制成的阻挡层沉积能给人们带来很多好处。在其中,有对双向导电的选择性,有再沉积一种无定形合金的可能性,有通过加入一种第三组份而使二元合金的性质增强化的好处,有高可靠性和低成本费用。在集成电路的结构中在铜和钴的面上,在碱性溶液中常沉积一层富钴的钴——钨——磷三元合金。合金中磷的成分较高(以重量计约11%),低的第三组份钨(约以重量计占2%)。 相似文献
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鄂尔多斯盆地西缘三叠系物源认识对油气石油勘探具有重要指导作用。本文通过大量的野外、井下采样,室内分析化验对比研究,发现西部环县地区与六盘山盆地、河西走廊地区延长组有着相似的重矿物组合,砂岩骨架组分普遍有较高的石英含量,稀土、微量元素特征也较为相似,具有属同一沉积体系的特征,花岗岩类是环县三角洲沉积体系的主要物源之一。认为现今概念的鄂尔多斯盆地西部晚三叠世与六盘山盆地及走廊地区不具明显的分割性,盆地很可能向西开口延伸。 相似文献