硅晶片双面超精密化学机械抛光

为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒径二氧化硅胶体磨料配制了SIMIT8030-Ⅰ型新型纳米抛光液,在双垫双抛机台上进行抛光实验.抛光液、抛光前后厚度、平坦性能及粗糙度通过SEM、ADE-9520型晶片表面测试仪、AFM进行了表征.结果表明:与进口抛光液Nalco2350相比,SIMIT8030-Ⅰ型抛光液不仅提高抛光速率40%(14μm/h vs 10μm/h);而且表面平坦性TTV和TIR得到改善;表面粗糙度由0.4728nm降至0.2874nm,即提高抛光速率同时显著改善了抛光表面平坦性和粗糙度.     

LiNbO3电光调制器制作技术

光凋制器是光通信关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光凋制器开展了基础理论，结构设计、工艺制作、性能测试等方面的研究和开发。本文介绍了LiNbO3调制器关键制作技术与工艺。     

GaAs材料抛光机理的研究

ＧａＡｓ材料抛光机理的研究陈坚邦王云春董国荃（北京有色金属研究总院北京１０００８８）关键词：原子氧ＧａＡｓ抛光机理氧化物１引言ＧａＡｓ材料硬度低、脆性大、缺陷多、易解理、加工困难，在抛光工艺中对单晶材料的缺陷及其完整性非常敏感。目前较多采用化学机械...     

模具的高效抛光

模具制造中的抛光作业是一道不可缺少的工序。现在一般都是采用砂轮、砂纸对铣削面、磨削面、电加工面等进行光滑加工。如果机加工面较细微,那可不必施行抛光作业。但由于机加工的费用较高,因此大多还是用手工进行光滑加工。此外,为了保证精度,对精密模具的机加工比较慎重。要用这类机床加工出较难实现的镜面,也还是要由熟练操作者的手工抛光,才能得到其最终精度。总之,模具制造中的抛光作业是不可缺的,目前的情况是较多地依赖于手工操作。人们     

德国开发出了不锈钢覆层表面抛光新技术

德国蒂森克虏伯尼罗斯塔公司（ThyssenKruppNirosta）开发出两种不锈钢覆层表面抛光新技术。尼罗斯塔公司与汉高集团（Henkel）合作开发出一种新的透明涂层Silverlee。可用于家用电器、厨房设备、家具、镶板、电梯和自动扶梯。工艺采用紫外线辐射和纳米粒子方法，产生薄的无色透明涂层。     

球铁曲轴抛光的工艺探讨

自五十年代以来,球铁已广泛用于汽油机和小型高速柴油机曲轴用以代替传统的锻钢。因为球铁件由于加工作用其残留层具有微观毛刺的结构特征,用于钢件抛光的方法一般不能完全适用于球铁曲轴的抛光。同时,对球铁曲轴轴颈表面形貌的几何特征的评价比钢件困难得多。因此,西德、美国的有关文献甚至明确阐明这样一种观点:为了解决球铁曲轴加工的这一问题,唯一方法就是抛光。一、球铁曲轴及其典型的热处理实践证明,凡能改变金属基体组织的各种热处理方法均可达到某些钢经相应热处理所获效果,以此提高球铁的强度、塑性和韧性,获得耐磨、耐