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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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介绍一种新型的恒通量的微滤膜———ISOFLUX 膜 ,该种膜的膜通量衰减比通常的微滤膜要小得多 ,对ISOFLUX 膜的原理和数学模型进行了推导 ,并给出了对牛奶进行冷杀菌过滤的结果 . 相似文献
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本文给出了多层介质膜反射率与入射角的关系的计算机程序,并列出了部份常用激光膜片反射率-角度曲线。 相似文献
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介绍了二次盐水及离子膜电解工序的主要设备和流程,对二次盐水及离子膜电解工序运行中出现的问题进行了分析,并提出了解决措施。 相似文献
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本钢铁精矿降硅提铁技术探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
本文通过对本钢选厂铁精矿特性分析.提出了以磁力场和重力场结合的单一的弱磁选精选设备和工艺流程.对铁精矿中的磁性夹杂和非磁性夹杂进行有效分离.或以弱磁选为主提前得精,辅以少量连生体与脉石再磨反浮选联合工艺流程.实现本钢矿山降硅提铁总体目标和选矿-炼铁系统成本最低,效益最大,利益共享,达到双赢。 相似文献