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浸没式光刻的优势和可行性 总被引:3,自引:2,他引:3
SoichiOwa HiroyukiNagasaka 《电子工业专用设备》2004,33(2):10-14,18
浸没式光刻通过高折射率的液体充入透镜底部和片子之间的空间使光学系统的数值孔径具有显著的优势。在193nm曝光系统中,水(折射率为1.44)被选作最佳的浸入液体。通过成像模拟,现已证明ArF穴193nm雪浸没式光刻(NA=1.05~1.23)与F2穴157nm雪干法穴NA=0.85~0.93雪光刻具有几乎相同的成像性能。结合流体力学和热模拟结果,讨论了ArF浸没式曝光设备的优势和可行性。 相似文献
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以韩国LG公司CDMA无线本地环路(CDMA-WLL)为例,介绍CDMA技术特点及WLL的原理及技术指标。 相似文献
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电子设备产品的可靠性试验 总被引:5,自引:0,他引:5
可靠性试验是可靠性工程最基本的内容和最重要的工作项目。本文对电子设备产品可靠性试验的技术基础、可靠性试验的特点和分类、电子设备产品可靠性试验的方案设计,以及可靠性试验数据的分析和处理方法作了一些介绍。 相似文献
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本文介绍三部分内容:1.测量的汉语普通话MTF特性;2.利用汉语可懂度的实验结果,根据实验室内不同信噪比条件下的数据得出汉语普通话音节清晰度和STI的关系曲线,比较了汉语STI值和RASTI值的相关性;3.在海淀影剧院直接用B&K公司RASTI测量仪器进行测量,观察厅堂内RASTI值的合理性 相似文献
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进入5G移动互联网时代,家宽重要性不言而喻。在实际的工作中,家宽端到端的长流程、多样业务形态与不透明的用户侧组网导致家客用户满意度影响因素众多,在提升家宽业务用户满意度过程中遇到了"时效低、定位难、缺抓手、无闭环"四大难题,给运维支撑与满意度提升工作带来较大压力。基于此,文章从客户属性、业务质量、服务质量等三个方面建立家宽业务满意度分析模型,实现对用户满意度问题的精确识别、支撑前移与闭环跟踪。 相似文献