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基于感应耦合等离子体干法刻蚀技术,对采用Cl2/BCl3气体组分下GaN刻蚀后的侧壁形貌进行了研究。扫描电镜(SEM)结果表明,一定刻蚀条件下,刻蚀后GaN侧壁会形成转角与条纹状褶皱形貌。进一步实验,观察到了GaN侧壁转角形貌的形成过程;低偏压功率实验表明,高能离子轰击是GaN侧壁转角与条纹状褶皱形貌形成的原因。刻蚀过程中,掩蔽层光刻胶经过高能离子一段时间轰击后,其边缘首先出现条纹状褶皱形貌,并转移到GaN侧壁上,接着转角形貌亦随之出现并转移到GaN侧壁上。这与已公开发表文献认为的GaN侧壁条纹状褶皱仅由于掩蔽层边缘粗糙所引起而非刻蚀过程中形成的解释不同。 相似文献
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变容管调谐微带环形谐振器带通滤波器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了变容管调谐的微带环形谐振器带通滤波器。给出了微带环形谐振器的谐振特性和两环形谐振器间的耦合特性。制作了二级变容管调谐微带环形谐振器的带通滤波器,实验结果和理论吻合较好。 相似文献
76.
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设计一种基于人工电磁结构(AMC)的新型口径耦合天线。对加载了AMC 结构的口径耦合天线进行仿真。
根据仿真结果,天线的工作频率为5.5GHz,辐射的波束指向21°时增益为6.4dB。文中对天线的参数进行分析,波束
的偏移角度与AMC 结构的有关。将AMC 结构变为一排,天线波束可以指向11°。根据天线单元构造1×2 的子阵,
阵列天线具有更高的增益和带宽,并可以有波束的偏移。 天线子阵工作在5.5GHz 时天线的波束指向为26°,增益
8.47dB。 相似文献
78.
大失谐情况下的V-型三能级原子与光场相互作用 总被引:4,自引:1,他引:4
本文研究了一个V-型三能级原子与光场的相互作用.在原子与场大失谐情况下,处于基态能级可绝热消除,即此模型可化为非简并Raman耦合模型;进而提出了其改进型有效哈密顿量;最后得到了简并Raman耦合模型的有效哈密顿量,并借助于矩阵求出了任意时刻波函数的解。 相似文献
79.
PCNN和Otsu理论在图像增强中的应用 总被引:8,自引:3,他引:8
提出了基于改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)与Otsu的图像增强新方法。该方法对PCNN进行了改进,而用改进后的PCNN进行图像去噪处理,继而用Otsu方法寻找最佳灰度阈值后进行图像增强。仿真实验表明,该方法滤波后信噪比(PSNR)为18.9305,而高斯滤波为5.4087;同时又能根据图像灰度性质自动选取最佳阈值,并对自适应分割后图像进行不同的灰度变换,使图像得到有效增强。仿真结果证明了该方法的有效及合理性。 相似文献
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