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Woo-Seok Cheong 《Journal of Electronic Materials》2003,32(4):249-253
For the lowest resistance, it is required to have the epitaxial silicon contact between the silicon plug and the substrate
and good step coverage at the high aspect-ratio contact holes, simultaneously. In this work, a double polysilicon (DPS) deposition
technique was proposed for the requirements. The first, thin silicon layer is deposited in a single-wafer process chamber
with an in-situ H2-RTP (rapid thermal process) treatment for the epitaxial contact, and the second silicon layer is formed in a batch-type furnace
for good step coverage. From chain resistance, Kelvin Rc, and current-voltage (I–V) measurement, the DPS process meets both low resistance and good uniformity, so that it suggests
a breakthrough in the small-sized, semiconductor device application. 相似文献
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Mariame Amine Abdellatif Kobbane Jalel Ben‐Othman Abdellaziz Walid 《International Journal of Communication Systems》2020,33(8)
Recently, academic and industrial research communities are paying more explicit attention to the 5G multiple radio access technology ultra‐dense networks (5G multi‐RAT UDNs) for boosting network capacity, especially in UD urban zones. To this aim, in this paper, we intend to tackle the user association problem in 5G multi‐RAT UDNs. By considering the decoupled uplink/downlink access (DUDA), we divide our user association problem into two distinct subproblems representing, respectively, the uplink and the downlink channels. Next, we formulated each one as a nonlinear optimization problem with binary variables. Then, to solve them, we were restricted by the hard complexity, as well as the hard feasibility of centralized user association schemes. Thus, to resolve our user association problem in a reasonable time and distributed manner, we formulated each subproblem as a many‐to‐one matching game based on matching theory. Next, we provide two fully distributed association algorithms to compute the uplink and downlink stable matching among user equipments (UEs) and base stations (BSs). Simulation results corroborate our theoretical model and show the effectiveness and improvement of our achieved results in terms of the overall network performance, quality of service (QoS), and energy efficiency (EE) of UEs. 相似文献
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