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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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投影机越来越便宜了,近来不少厂商都推出了万元左右的新产品,让预算紧张的用户喜出望外。当然,价格便宜肯定会牺牲一些性能和功能,降低成本的最主要原因就是它们没有采用分辨率为1024×768(XGA)的LCD或DLP核心,取而代之的是价格便宜的800×600(SVGA)核心。另外,这些投影机往往会省略一些输入输出接口以及一些不常用的功能。尽管产品本身并没有太多可圈可点之处,但与高分辨率主流投影机2万元左右的价格相比,它们的确经济实惠。我们这里要介绍的四款投影机新品就包括三台万元投影机。 相似文献
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本文介绍新型1-Wire数字温度传感器DS1822与微控制器相接口与软件设计方案,并指明1-Wire温度传感器的特点。 相似文献
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