基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺

研究了基于绝缘材料上的硅（SOI）材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺．利用电感耦合等离子体刻蚀（ICP）技术，在SOI材料上制作了垂直度大于89°的光滑的光栅槽面．氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度（RMS）有3nm的改善，达到7.27nm（采样面积6.2μm×26μm）．通过采用集成波导拐弯微镜代替弯曲波导使1×4分波器的器件尺寸仅为20mm×2.5mm．测试结果表明器件实现了分波功能．     

一种提高极值法监控精度的方法

提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。     

基于数控系统的车刀刀尖补偿半径逆向测量

精车兵器零件的锥面、曲面时,需要向数控系统提供刀尖半径值以实现精确补偿。为提高所测量的刀尖半径值精度,提出应综合考虑刀具的实际形态、刀具与工件接触状态以及加工中刀具磨损等情况,用刀尖补偿需求半径来表达切削过程中应给予数控系统的刀尖半径值。刀尖补偿需求半径值无法通过直接测量获取,研究了一种由加工结果反求刀尖半径的逆向测量法,在测量刀尖半径值时利用数控车削系统运行中固有的特点,通过加工一个倒角或圆锥面,量取工件尺寸,计算得到车刀刀尖半径值。该测量法排除了刀尖形状是否规范的干扰,测出的刀尖半径能够真实反映刀具切削时的实际切削状态,比传统测量方法更精确,且操作简便。这种测量方泫的特点在于能够在机进行。     

基于侧偏特性的车辆转弯直径精确计算方法

车辆设计之初一般采用阿克曼原理进行车辆最小转弯直径的计算,由于其未考虑轮胎侧偏特性,导致计算结果误差较大.针对该问题,提出了一种考虑轮胎侧偏特性的车辆转弯直径计算方法,以某四轴越野车辆为研究对象,开展理论公式推导,根据轮胎试验数据拟合得到轮胎侧偏刚度,完成转弯直径的计算.与实车试验数据进行对比分析,结果表明:该方法计算误差小,能够准确计算车辆的转弯直径.     

超精密机床的压电作动器隔振系统研究

压电作动器是振动主动控制中最常用的一种执行机构。文章分析了各种压电作动器的特点及应用范围 ,并用压电陶瓷作动器对超精密机床实施振动主动控制。结果表明 ,该系统应用控制器克服了压电元件的迟滞特性、蠕变特性和非线性后 ,能有效的控制地基振动对超精密机床的影响 ,提高了超精密机床的加工精度     

折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测

讨论了折-衍光学镜片的设计、加工和检测.结合设计采用单点金刚石车削工艺加工出了具有连续浮雕结构的折-衍光学镜片.对加工成的折-衍光学镜片采用先进的数字化检测,结果表明,面型精度为0.228μm,表面粗糙度为1.279 nm,台阶位置误差小于1/3波长.对折-衍光学镜片加工中产生的遮挡效应和光的透过率损失给出了定量的分析...     

超临界汽轮机轴承箱球面瓦座数控加工

介绍了超临界汽轮机轴承箱球面瓦座平旋盘的数控加工难点与解决方法。     

Total utility demand prediction system for dwellings based on stochastic processes of actual inhabitants

This article describes a new methodology to calculate the likely utility load profiles (energy such as power, natural gas, space heating and cooling, and other thermal requirements, as well as city water) in a dwelling. This calculation takes into account the behavioural variations of the dwelling inhabitants. The proposed method contains a procedure for cooling load calculations based on a series of Monte Carlo simulations where the heating, ventilating and air conditioning (HVAC) on/off state and the indoor heat generation schedules are varied, time-step by time-step. A data set of time-varying inhabitant behaviour schedules, with a 15-min resolution, generated by the authors in previous studies and validated by a comparison analysis to several field measurement data sets, was integrated into the model. The established model, which is called the total utility demand prediction system, can be applied to, for example, likely estimation of an integrated space maximum requirement, such as the total load of a building or an urban area. In a series of numerical experiments, huge discrepancies were found between the conventional results and those considering the time-varying inhabitant behaviour schedules. In particular, deriving the dynamic state change, of having the HVAC on/off from the inhabitants' schedules, was found to be a significant factor in the maximum cooling and heating loads.     

车削过程振动的产生原因及消除措施

详细分析了车削加工中振动的主要类型及产生的原因,并从多个方面提出了减小或消除振动的措施。     

变截面细长杆超声波振动车削技术

许多机械制造工厂一直沿用“车削—锉削—抛光”的传统工艺加工变截面细长杆.这种工艺不但加工效率低,而且不易保证加工质量.作者利用自行设计和研制的超声波振动车削装置,研究了超声波振动车削变截面细长杆技术,确定了合理的工艺参数,从根本上解决了变截面细长杆的精密加工问题.