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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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现代电子工业Cpk评价中的特殊问题 总被引:2,自引:0,他引:2
现代电子工业生产具有许多新的特点,如果不针对具体情况,均采用传统工业生产中广泛使用的常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论。总结了电子工业生产中工艺参数的典型特点,并讨论了工序能力指数的正确计算方法。 相似文献
73.
74.
偏振模色散的波片级联仿真模型的比较 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了研究偏振模色散常用的两种数值仿真模型,并且利用常用的两种仿真模型分别对特定角频率下的差分群时延在不同光纤中的分布情况和同一根光纤中的差分群时延在一定频率范围内的分布情况进行了模拟。最后发现对于特定角频率下的差分群时延在不同光纤中的统计分布,两种模型都可以给出比较满意的结果,但是在模拟同一根光纤中的差分群时延在一定频率范围内的统计分布时,发现等段长模型给出的分布结果和理论相差较大,但是模拟得到的平均差分群时延和理论结果还是比较吻合的。 相似文献
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给出了覆盖层厚度对巷道周围应力分布的影响及巷道间相互作用的计算机仿真,用三维有限元法分析了在不同覆盖层厚度下巷道周围的应力分布和两个巷道之间不同距离下的相互作用。数值模拟表明了巷道周围应力分布和应力集中系数随覆盖层厚度增加的变化规律,找到了两巷道之间的距离的临界值,当两巷道间距离大于该临界值时,它们之间的相互作用消失。 相似文献
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1水资源开发利用现状及存在的主要问题1.1水资源开发利用现状1.1.1水资源临沂市位于鲁东南,属低山丘陵区,总面积17185km2。多年平均降水量为818.8mm,年内降雨夏多冬少,时空分布不均,市内河川径流都由降水形成,其分布趋势与降水相似,多年平均径流深100~400mm,平均272.5mm,折合水量140.7亿m3,多年平均地表水资源量46.8亿m3。1.1.2水资源开发利用现状截至2000年,全市建有大型水库7座,总库容23.2亿m3,兴利库容12.8亿m3;中型水库29座,总库容6.4亿m3,兴利库容3.2亿m3;小型水库737座,总库容4.7亿m3,兴利库容3.0亿m3;塘坝6485座,总库容2.3亿m3,兴利… 相似文献
79.
80.
本文就利用诸如蛋白石这样的疏松多孔矿料同灰土构成的混合料,在路面结构中表现出的独特有效的抗冻作用机理作了深入分析,并结合足尺试验数据加以验证。阐述了所谓多孔板体结构的概念、机制和材料组成要求。 相似文献