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本文描述用离子探针显微分析法研究锑化铟器件表面沽污的情况。研究发现:各工艺过程中采用的容器、化学试剂、去离子水及工作环境,都是杂质沽污的主要来源。离子探针显微分析法促进了工艺的改进,使阳极氧化工序的沾污杂质由13种减少到7种,Na、K和Ca杂质的含量也大大下降。中测腐蚀工序沾污杂质由11～13种减少到4～6种。器件表面沾污的减少使器件性能得到改善,φ2mm器件的阻抗由10kΩ提高到60～70kΩ,成品率也提高一倍左右。 相似文献
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ＴＨＥＢＥＨＡＶＩＯＲＳＯＦ４８ｋｅＶＳｉＩＯＮＳＩＭＰＬＡＮＴＥＤＩＮＴＯ（１００）ＧａＡＳＬｉｕＨｕｉｚｈｅｎ（刘惠珍）；ＣａｏＤｅｘｉｎ（曹德新）；ＺｈｕＤｅｚｈａｎｇ（朱德彰）；ＺｈｕＦｕｙｉｎｇ（朱福英）ａｎｄＣａｏＪｉａｎｑｉｎｇ（曹建清... 相似文献
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同轴式磁控溅射离子镀膜机是磁控溅射和离子镀膜相结合的一种镀膜设备。从不小于1.5×2m 大面积基底上所镀膜层的均匀性和实际应用的可行性来看,是一种较好的成膜手段。1.国内现状目前国内生产蒸发式镀膜设备的厂家不少。这种方法是以高纯铝丝或铁铬镍合金丝等作为膜材,在大面积上镀镜或镀建材玻璃膜。普遍认为蒸发膜存在着如下问题: 相似文献
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