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CCD成像器件用P型外延材料的工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
CCD成像器件作为大面阵高集成度器件,对外延材料的均匀性,特别是P型材料的电阻率均匀性,提出更高要求。本文主要介绍了CCD成像器件用硅外延片的一种实用生产工艺,利用PE-3061D平板式外延炉在6英寸、<100>晶向、电阻率小于0.02Ω·cm的重掺B硅衬底上化学气相沉积(CVD)所需硅外延层。通过C-V测试方法对外延材料的电阻率均匀性进行测试分析,通过变流量吹扫和提高赶气温度的工艺方法显著提高外延材料的均匀性,最终得到满足CCD成像器件设计要求的P/P+结构硅外延片。 相似文献
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Christine Chien 《A&S》2014,(2):74-77
根据市场调研公司Transparency MarketResearch最近公布的市场报告《智能交通系统市场——全球行业分析、规模、份额、增长、趋势和预测(2013—2019年)》.到2019年,智能交通系统的全球市场规模可望达到302亿美元,白2013年到2019年的复合年均增长率为川%。智能交通系统市场需求增长的原因在于全球特别是亚洲各大城市严重的交通堵塞。 相似文献
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创建于1996年12月的厦门万里石有限公司,经过万里石人十年的拼搏奋斗,已发展成为蜚声中外的石材企业集团。今天的万里石,已经拥有7座矿山,10家工厂,3家物流公司,20家下属企业,注册资本 相似文献
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【目的】西藏东南部是青藏高原森林生态系统主要分布区域,探究该区域森林分布的气候特点以期了解高原森林生态系统如何响应未来气候变化。【方法】通过ENVI和ArcGIS将张新时先生中国植被分类图、LUCC 2015年植被分类图校正分类合成出西藏东南部森林分布图,将WordClim气候数据和森林分布数据以1 427个小流域和研究区域各县为单位进行均值处理,对7月份月均温度、全年平均风速、春季(3月、4月、5月)总降水量与植被覆盖度进行单因素和多因素回归分析。【结果】西藏东南部森林分布格局呈南多北少,3种气候因素联合模拟西藏东南部78.6%的森林分布格局,各气候因素对森林分布的解释性较高(7月均温:R2=0.746 5,P<0.01;全年平均风速:R2=0.817 2,P<0.01;春季总降水:R2=0.595 3,P<0.05)。【结论】7月份8℃温度以上区域分布格局与西藏东南部森林分布格局相关性高,西藏东南部森林覆盖度与7月份月均温度成正相关;全年2.8 m/s风速以下区域分布格局与西藏东南部森林分布格局相关... 相似文献
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恒温箱温度的H∞优化控制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了基于H∞优化控制的恒温箱温度控制问题。首先建立了将环境气温作为外部输入。电加热器输出功率作为控制输入,并考虑实际上温度检测滞后的动态模型,尔后对该模型进行了考虑控制成本的、以温度检测输出作为反馈的H∞控制设计。通过仿真结果观察,恒温箱温度的H∞优化控制是一种既体现了技术优势,又顾及了经济效益的整体优化策略。 相似文献
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