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51.
介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。 相似文献
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性能效率是APP软件的重要质量属性,但目前缺乏APP软件性能效率的通用模型。分析了APP软件的性能特征,基于ISO/IEC 25010标准提出了APP软件的性能效率模型,定义了APP软件性能效率的子特性和度量指标。基于提出的APP软件性能效率模型,通过实验对APP软件的性能效率进行了度量及相关分析。 相似文献
53.
55.
基于ABAQUS的显式动力学分析方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
显式动力学(The Explicit Dynamic)是针对隐式求解器的一个补充,其分析方法对于求解广泛、各类非线性结构力学问题是一个非常有效的工具,显式方法中的单个增量步取决于模型的最高固有频率,与持续时间、载荷类型无关。ABAQUS/Explicit主要用于碰撞、接触以及失效分析。探讨了ABAQUS显式动力学的基本理论、求解的问题,对显示动力学分析方法中的求解算法、稳定时间极限和能量平衡问题进行研究,给出了显示动力学分析的一般性分析方法。通过案例验证了该方法的可行性,应用该方法可有效解决实际工业生产中的碰撞问题、复杂的接触问题以及复杂的后屈曲问题,可为显式动力学分析方法应用于工程实践奠定理论与方法基础。 相似文献
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58.
煤电平均供电煤耗作为评价能源系统效率的指标已在行业内广泛应用。但该项指标无法很好地反映一个国家、地区的用电结构与用电能耗水平。为此,参照行业内普遍采用的火电厂发电煤耗和供电煤耗指标,定义“综合用电煤耗”,即用户每用1 kW?h电“消耗”的标准煤量(单位:g/(kW?h))。在此基础上,提出“综合发电煤耗”与“综合供电煤耗”的概念,形成完整的指标评价体系。对近年典型省份指标值的研究表明,该指标体系能够很好地反映供给侧国家、省区或企业的发电结构与电能生产能耗水平。这一指标体系能够为正确理解和计算用电、输电与电能替代项目的化石能源消耗量及其排放量提供依据。 相似文献
59.
通过模型试验,研究直角折线堰不同前堰、侧堰长度的变化情况下的过流能力和过堰水流形态。直角折线堰作为亲水设施,当前堰、侧堰长度以及展长变化不大时,其过流能力相差仅为10%左右,对河道的行洪安全没有根本性的影响;不同的前堰、侧堰长度变化情况下,过堰水流在堰顶、堰后的水舌形态以及下游水流跌落后所形成的水冠均有着较为明显的差异,将其进行不同的组合布置,客观上使得过堰水流相互交错、水股相击,能够营造出和谐美丽的生态氛围。 相似文献
60.
为了揭示飞艇内置氦气囊在非稳定状态下的形态变化机理,建立了单个氦气囊模型,基于ANSYS的瞬态动力分析和CFX的多场耦合分析,考虑空气与氦气密度差导致的浮力效应,进行空气和氦气流体及柔性囊体的多场耦合分析.首先基于囊体无应力态进行充气模拟得到初始充气平衡形态,校验数值模拟方法的正确性.然后通过控制氦气排气量模拟氦气囊在0°、10°、20°、30°仰角以及充盈度分别为100%、90%、80%、70%、60%时的形态,并进行变形、应力特征分析.数值结果表明:在仰角为0°时,随充盈度减小,囊体底部约1/3区域发生形态失稳,呈环向均匀小凹陷模态,且向顶部扩展,环向贯通为大凹陷;当有仰角时,凹陷先发生于下腹部,环向非对称,且随仰角增大,下腹部凹陷向顶部扩大. 相似文献