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本文研究了在低温(430℃)下用PECVD法淀积的SiO_xN_yH_z薄膜的直流电导特性。实验证实这种薄膜即使在x接近1时仍具有极低的电导率(8×10~(-17)Ω~(-1)·cm~(-1))在室温弱场强下其导电机理符合Mott模型。当温度较高时,Poole-Frenkel导电机构将起主导作用。而在常温强电场下,样品导电则从Fowler-Nordheim机构为主。直流电导研究进一步证实了我们关于x接近1的样品中存在SiO_xH_x和SiN_yH_z分离相,而不存在a-Si凝聚相的模型。 相似文献
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柠檬酸钠法液体二氧化硫生产用的泡沫塔 总被引：3，自引：0，他引：3
柠檬酸钠法生产液体二氧化硫的关键设备泡沫吸收塔，在设计中因某些工艺参数选用不当，试生产中出现吸收率低、塔压降过大、液沫夹带严重等问题，经调整筛板层数、筛板孔径、溢流堰口高度及面积等后，吸收塔运行正常。 相似文献
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