半导体制造中的电子显微分析

集成电路的特征尺寸越来越小，电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜（SEM）及透射电子显微镜（TEM）在实际分析中的特长和局限，主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题，讨论如何将两种分析技术有机地结合起来，扬长避短，取得最佳效果。     

Characterisation of orientation noise for EBSP technique

ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎｂａｃｋ ｓｃａｔｔｅｒｅｄｐａｔｔｅｒｎ (ＥＢＳＰ)ａｎａｌｙｓｉｓｉｎｔｈｅｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅａｓａｔｏｏｌｆｏｒｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｎｇｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｈａｓｂｅｅｎｗｅｌｌｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ .Ｔｈｉｓｔｅｃｈｎｉｑｕｅｈａｓｍａｎｙａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｖｅｒｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ .Ａｄｒａｗｂａｃｋｏｆｔｈｉｓｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓｔｈｅａｎｇｕｌａｒｒｅｓｏ…     

曲线轮廓汉字的网格适配技术

要提高曲线轮廓汉字的还原质量, 需要在字形还原时采用网格适配技术本文介绍了网格适配的基本原理, 并在分析汉字字形还原失真现象的基础上, 给出了我们自己设计并实现的适合于曲线轮廓汉字特点的二种网格适配方法, 即动态的补象素算法和曲线轮廓汉字的技术     

用PIC16C54单片机实现多键盘扫描

本文介绍利用ＰＩＣ１６Ｃ５４单片机及少量二极管，实现一种低成本、保密性高、多键盘的扫描方法。     

图形模式下的中西文键盘接收

本文从键盘的扫描代码进行分析,考虑到中文写屏与屏幕操作的矛盾,编写了图形模式下的中西文键盘接收程序。     

蛋白质电子晶体学

把电子晶体学的概念和数学手段引入生物大分子结构研究是２５年来结构分子生物学的一个重要发展。电子的高散射能力使得能从一层单胞厚度的大分子单晶收集结构数据，以研究可以生长成二维晶体的大分子的高分辨率三维结构，如膜蛋白。     

磷钨酸乙醇染色法在嗜铬颗粒电镜X射线显微分析中的应用

通过比较常规透射电镜制样法、快速冷冻固定－冷冻超薄切片法及磷钨酸乙醇（EPTA）染色法在嗜铬颗粒透射电镜X射线显微分析中的应用，发现磷钨酸乙醇染色法能使嗜铬颗粒电子着色，从而较好地显示嗜铬颗粒的超微结构。同时磷钨酸乙醇染色法也以在一定程度上原位保留生物样品中元素，可以应用于检测样品元素含量的变化或比较样品元素含量的组间差别，提示磷钨酸乙醇染色法是一种可应用于透射电镜X射线显微分析的经济简便的生物样品制备方法。     

高强度CrMo钢的EELS和EDS面扫描研究

在很多金属材料中 ,界面处元素的偏聚对材料的力学性能往往起到至关重要的作用。随着电子显微学的进步 ,电子能量损失谱 (ＥＥＬＳ)已被用来研究界面处的性能。例如 ,对Ｎｉ3 Ａｌ晶界处电子能量损失谱的研究表明 ,Ｂ在晶界处的偏聚改变了晶界处的电子态 ,从而对于改善Ｎｉ3 Ａｌ的脆性具有明显的作用[1,2 ] 。在过渡金属的合金中 ,如下的定性结论可以判别界面处键合的趋势 :当界面处ＥＥＬＳ谱的白线较块体高且尖锐的情况下 ,界面处强度比块体低 ,界面为易断裂处 ;如果界面处的白线强度比块体较低 ,且有展宽效应 ,则界面处的强度高于块体强…     

垂直磁化膜微畴结构的SEM观察

本文研究了用扫描电子显微镜(SEM)观察垂直磁化膜微畴结构的方法和观察结果。该方法的步骤是在试样表面制作高质量的干粉纹图,然后用高倍率二次电子象进行观察。由于SEM中的二次电子象具有景深大、分辨率高的特点,这项技术可用来研究磁畴的精细结构特征及其在磁化过程中的变化。     

X射线底片数字化存储管理及发展前景

X射线底片数字化存储基本原理是运用计算机技术将底片作为景物图像经扫描器扫描，经数字化进行图像处理，把底片负象转变成数字信号，数字信号经计算机转换成光学图像在显示器上显示，进而存入磁盘或转录到磁带上作永久存储，系统软件构成主要由6个模块组成，底片的存储主要有以下特点：（1）存储无失真，可以任意复制，便于交流；（2）系统操作简单，观察更清晰，更全面，更准确。（3）节省大量的存储空间，科学地分类管理使查阅更快捷，更准确。（4）系统采用了精确的稳定控制技术，具有很高的稳定性和精确性，现代计算机技术和网络技术的进步将极大地促进底片数字化存储管理系统的广泛应用和迅速发展，另外，底片数字化存储系统的开发应用将促进无损检测缺陷智能的实现。