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一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析 总被引:2,自引:0,他引:2
通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU-8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polvdimethvlsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。 相似文献
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关于催化裂化FCC装置用国产电液执行机构中BD15电液伺服阀使用的几个问题(100022北京中航总公司六三四研究所电液伺服工程部)杨建一、问题提出七十年代中期全球性的能源危机促进了重油轻质化技术的发展,炼油工业中FCC装置的建设尤为迅速,国外主要炼油... 相似文献
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顾泓刚 《机械工人(冷加工)》1993,(3):7-8
1990年我厂受上海汽轮机厂的委托,承接了30万kW汽轮机的关键零件——主汽门的大型阀壳内型膛的加工任务。经过一年多时间的技术准备,于1991年8月完成了首件的加工。此后又对加工工艺及装备作了进一步的完善,目前已加工了8件,经检 相似文献
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