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211.
《中国集成电路》2004,(4):36-40
虽然下一代光刻(NGL)技术的开发仍在继续大力开展工作,但许多人一直支持“不断延续光学光刻”的呼声。248nm光刻性能的进一步扩展,更激励许多企业界人士指望用193nm光刻来完成45nm技术节点的光刻。  相似文献   
212.
PECVD法低温沉积多晶硅薄膜的研究   总被引:9,自引:3,他引:6  
在玻璃衬底上采用常规的PKCVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗较(直径>100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了近10倍。分析认为,在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m n≤3),而不可能是SiHn(n≤3)基团。  相似文献   
213.
"露天矿生产的车辆安排"的模型和评述   总被引:1,自引:0,他引:1  
结合今年全国大学生数学建模竞赛B题的评阅情况,该文叙述了一种基本解法和结果,并对审题中的一些问题做出了回答.  相似文献   
214.
外观与内在,哪个更重要?类似的探讨经常出现在我们身边的方方面面。拿音响来说,时尚的一体化组合在拥有出色外表的同时,音质往往让人不够满意;强调了Hi-Fi效果的音响组合通常又会有不够时尚的嫌疑。两难间的选择将会是什么?  相似文献   
215.
采用高精度的模式匹配法设计了一种Ku波段波导型双工器。双工器采用H面T接头和E面横向膜片波导带通滤波器。采用该方法设计的双工器精度高,结构简单,便于加工。文中也将理论结果和实测数据进行了比较,两者吻合得很好,证明了模式匹配法的精确性和有效性。  相似文献   
216.
具有控制项的限定记忆卡尔曼滤波器   总被引:1,自引:0,他引:1  
在已有的限定记忆卡尔曼滤波器的基础上 ,将确定性先验信息作为控制项加以应用 ,推导出了完整的限定记忆卡尔曼滤波公式 ,从而在记忆长度确定的情况下 ,有效地减小了模型不准的误差 ,降低了滤波总误差。仿真同样表明了该方法的有效性  相似文献   
217.
《导航》2003,39(4):110-116
  相似文献   
218.
王德宪  郭利娅 《玻璃》2003,30(3):22-27
第三节 常见氧化物膜目前研究最多的氧化物膜可谓二氧化硅和二氧化钛膜 ,这两种薄膜也是接受呈色离子、制备彩色镀膜常用的基体膜 ,所以 ,有必要将它们单独列出 ,加以讨论。1 二氧化钛膜在所有高折射率材料中 ,由钛的化合物制备的氧化物膜具有特殊的实际意义。因此 ,对二氧化  相似文献   
219.
石墨炉原子吸收光谱(GFAAS)法测定石英玻璃中硼的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
试样经氢氟酸分解,通过加入化学改进剂和多次注射浓缩样品及低温、长时间灰化的方法,在硝酸介质中用石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)测定石英玻璃中硼的含量。该方法解决了GFAAS法分析石英玻璃中硼灵敏度低和准确度低的问题。  相似文献   
220.
基于对地观测激光回波特征的目标特性研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
本文研究了对地观测激光回波特征与地面目标特征之间的关系模型,分析了分类地面目标的激光回波特征,提出一种基于查表法的目标特性计算方法并给出了仿真结果。  相似文献   
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