Nikon光刻机激光步进对准系统研究

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。     

APP软件性能效率研究

性能效率是APP软件的重要质量属性，但目前缺乏APP软件性能效率的通用模型。分析了APP软件的性能特征，基于ISO/IEC 25010标准提出了APP软件的性能效率模型，定义了APP软件性能效率的子特性和度量指标。基于提出的APP软件性能效率模型，通过实验对APP软件的性能效率进行了度量及相关分析。     

基于综合用电煤耗的电力高质量发展评价指标研究及应用

煤电平均供电煤耗作为评价能源系统效率的指标已在行业内广泛应用。但该项指标无法很好地反映一个国家、地区的用电结构与用电能耗水平。为此，参照行业内普遍采用的火电厂发电煤耗和供电煤耗指标，定义“综合用电煤耗”，即用户每用1 kW?h电“消耗”的标准煤量（单位:g/(kW?h)）。在此基础上，提出“综合发电煤耗”与“综合供电煤耗”的概念，形成完整的指标评价体系。对近年典型省份指标值的研究表明，该指标体系能够很好地反映供给侧国家、省区或企业的发电结构与电能生产能耗水平。这一指标体系能够为正确理解和计算用电、输电与电能替代项目的化石能源消耗量及其排放量提供依据。     

基于惯性姿态参量量化融合的机器腿仿生步态控制

为了提高机器腿仿生步态控制的稳定性,提出一种基于惯性姿态参量量化融合的机器腿仿生步态控制方法。构造机器腿仿生步态的运动学模型,进行机器腿仿生步态控制约束参量建模,采用陀螺仪和加速度计等位姿传感器进行姿态参量采集。采用扩展卡尔曼滤波方法进行机器腿的惯性姿态参量融合并输入到时控制执行器中。针对未知扰动对机器腿步态参量控制的误差,采用自回归更新方法进行姿态参量误差反馈修正,实现机器腿仿生步态稳定控制。仿真结果表明:提出的方法对机器腿仿生控制的稳定性较好,姿态参量的定位跟踪能力较强,提高机器腿步行的稳健性。     

智能制造企业评价指标及评估方法的探讨

本文分析了智能制造评价的意义,提出了智能制造评价模型、评价指标及评估方法。     

发电机定冷水处理的要点与新技术的概述

针对目前发电机定子空心铜线圈存在的腐蚀问题,介绍了定冷水水质控制的重要性以及定子铜线圈腐蚀的主要影响因素,介绍了当前定冷水的几种主要处理方法及智能配水法,并对每种方法进行评价。发电机定冷水系统在运行中应维持定冷水pH长期合格及氧含量长期稳定,控制二氧化碳浓度小于1.5×10-5 mol/L。定冷水智能配水法的应用效果是水质好,运行成本低,长期运行稳定可靠,保证了水质始终保持在最佳防腐蚀范围内。     

网络安全等级保护测评中测评结论的度量方法优化

文章分析了网络安全等级保护2.0时期国家标准的新变化对等级测评结论可能产生的影响,并用实际案例和数据论述了以往描述的基于测评指标和基于测评对象的定量分析方法存在的局限性。根据网络安全等级保护国家标准结构和内容的新特点,结合新的等级测评结论表述方法,文章提出了调整和优化定量计算产生等级测评结论的思路,给出了缺陷扣分的原理和缺陷扣分的定量计算方法,并比较了各种定量计算方法在计算结果上的差异,提出了适合新标准的测评结论定量计算公式。