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佳水 《激光与光电子学进展》2002,39(11):7-12
1 引言请想像这样的景像，用微小的机器干各种活。有的使汽车运行更加平稳安全，免除交通事故中千万人遇难。有的则以每秒数拍（1015比特）速率处理信息，从全球网站为人们下载影视节目。另一些能以前所未有的灵敏度和精确度进行科学测量。晶片大小的化工厂则能在需要的时间和地点制造危险的材料。这样的景像现已出现：我们正生活于其中，这就是现代的硅微机械世界[1]。这个世界在40多年前就由Richard Feynman以惊人的先见所预言，当时晶体三极管仍是刚发明而未被验证的技术，集成电路则在多年后才出现。在其1959年的讲话“底层仍有许多空… 相似文献