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141.
针对不合腐蚀抑制剂苯并三氮唑(BTA)的碱性铜粗抛液,通过对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜片上的动态抛光速率和静态腐蚀速率的研究来模拟评估氧化剂对晶圆表面平坦化的影响.在12英寸铜镀膜片和TM1图形片上分别研究氧化剂体积分数对表面平坦化的影响.实验结果表明:动态抛光速率和静态腐蚀速率均随着氧化剂体积分数的增加先逐渐增大,达到最大值,然后下降,趋于平缓.片内非均匀性和剩余高低差均随H2O2体积分数的增加,先呈下降趋势,后缓慢上升.当氧化剂体积分数为3%时,动态去除速率(vRR)为398.988 nm/min,静态腐蚀速率vER为6.834 nm/min,vRR/vER比值最大,片内非均匀性最小为3.82%,台阶高低差最小为104.6 nm/min,此时晶圆片有较好的平坦化效果. 相似文献
142.
虽然目前控制性详细规划中容积率等指标的核算有多种手段,但很少有基于实验的演算型定量研究。针对不同大小的基地,均可通过实验,推算日照标准约束下的容积率等指标,作为规划决策的重要依据。从当前日照标准约束角度,提出运用空间极限容积率校核的实验方法,通过计算机实验进行核算。提出了基于"九宫格"的计算方法,经过少量人工干预,由计算机生成指标对应的空间形态,以使控制性详细规划指标的确定更加科学、理性。实验表明,如果日照标准约束条件不变,容积率并不是可以随着住宅高度的增加而无限增加。如果需保证一定的日照资源质量,住宅高度和容积率存在增长极限。 相似文献
143.
144.
This research presents the method of finding an optimised location of a tubular receiver for a compound parabolic collector (CPC) with 6° acceptance angle. Due to low acceptance angle, reflected rays concentrate below the focus of a parabola. Graphical ray tracing (GRT) approach is implemented to execute the optical analysis with and without manufacturing error in the collector. It is performed on collector–receiver combinations by varying receiver height below the focus and they are compared on the basis of utilised area and projection ratios. The ideal cases of collector–receiver combinations which contribute high utilisation and projection ratio are selected and verified with the camera target method (CTM) performed on the actual set-up. It is built for water heater application to validate the results obtained from GRT and CTM. The thermal performance of CPC at various receiver heights is compared by thermal efficiency and therefore the optimum receiver height is concluded. 相似文献
145.
S. E. Greco E. H. Girvetz E. W. Larsen J. P. Mann J. L. Tuil C. Lowney 《Landscape Research》2013,38(4):461-486
This paper presents a novel and useful spatial modelling technique to create a topographic surface that estimates a floodplain's elevation relative to the average low-flow water surface elevation of a river channel. This model was applied to a 121 km study area of the middle Sacramento River, California, USA, where it was tested as a surrogate for observed water table depth and an observed 3.3 year recurrence interval flood inundation surface using independent data sets. The modelled relative elevation topographic surface correlated significantly (p < 0.005) to observed well water depths suggesting that the modelled surface reflected a reasonable approximation of vertical distance to the water table. Results from a flood inundation pattern analysis indicated an overall accuracy of 79% for correctly predicting inundated and non-inundated zones. The model was then used to measure relative channel bank height and the distribution of riparian plant communities to examine landscape ecological relationships. 相似文献
146.
运用有限元结构软件SATWE通过对工程实例计算分析,研究高层建筑剪力墙结构的层数和层高变化对剪力墙数量的影响,得出一些参考建议。一般在高层建筑剪力墙结构的设计时尽量使得建筑物的高宽比不大于4,能控制建筑物的造价成本;改变结构的层高要比改变结构的层数对剪力墙结构的刚度影响更加显著;结构层数和结构层高增加时,通过增加剪力墙墙厚保证结构的最大层间位移角不变的条件下,会对结构的整体稳定和安全造成不利的影响。 相似文献
147.
148.
149.
150.
为了研究导流筒高度对环流反应器内流动特性的影响,基于欧拉-欧拉方法,采用基于多尺度结构的EMMS曳力模型,结合颗粒动力学理论,建立了环流反应器内气固两相流动模型,通过对比实验数据,确定了合适的模型参数。采用已建立的流动模型,对导流筒高度进行了优化研究,考察了导流筒高度变化对平均床层密度、质量流率和环流速率等参数的影响。结果表明,导流筒优化高度为1.4 m时,环流效果较好,其平均质量流率比原装置(HD为1.2 m)提高了36.17%。 相似文献