Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

1　INTRODUCTIONThankstoitslowresistivityandhighelectromi grationresistance ,copperappearstobeaverypromisingsubstituteforaluminumininterconnec tions[1] .However ,copperisverydifficulttopattern ,andonlychemical mechanicalpolishing (CMP)tech nologycanresolvethisproblem[2 ] .CMPwasinitiallyinvestigatedandopenedoutfrom 1980soverseas[3] ,anditisthebestandonlyglobalplanarizationtech nologyatpresent ,butkeepsholdofbusinesssecretsallthetime .Fayolleetal[2 ] researchedCMPprocessofcopperwhereFe(…     

Pd^2＋离子对TiO2光催化薄膜化学稳定性的影响

采用Sol—Gel工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加0．3％～0．5％贵金属Pd^2 的TiO2-SiO2复合薄膜。通过对薄膜的XRD，SEM表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测，结果表明，在TiO2—SiO2薄膜中添加Pd^2 ，增强了TiO2薄膜的光催化活性，由于Pd^2 所起到阻滞剂的作用，使晶粒尺寸减小，表面呈多孔合理结构，改善了TiO2薄膜的显微结构，使薄膜的化学稳定性得到明显的提高。     

六方BN微颗粒表面化学镀Ni及动力学模型

以肼为还原剂在平均粒径为104μm的BN颗粒表面进行了化学镀Ni，提出了近球形颗粒表面“扩展-缩小自催化沉积”模型，较好地解释沉积量随时间的变化规律．依此模型推导了化学镀Ni沉积过程的动力学表达式．观测了不同沉积时间表面沉积Ni颗粒的SEM形貌变化规律，证实了动力学模型的正确性。     

CVD金刚石膜{100}取向在改进化学反应模型下生长的原子尺度模拟

建立了CVD金刚石膜{100}取向生长过程中的化学反应模型，表面吸附生长机制以沟槽处碳氢组元加入的机制为主，并用改进的KMC方法在原子尺度上模拟了该模型下（100）表面的生长过程，给出了衬底温度和甲基浓度等操作参数对膜质量的影响，结果表明，该化学反应模型能够较实际地揭示{100}取向CVD金刚石膜的生长。     

Magnetic and mechanical properties of FeSi alloys with high Si content

The chemical vapor（CVD） deposition-diffusion method was applied to prepare FeSi alloys with high silicon content up to 6.5%. In spite of various deposition and post-annealing, the sample remains α-Fe bcc structure. The cross section of the composition was analyzed to evaluate the Si content and distribution before and after annealing. The results show that the soft magnetic properties are improved by increasing the silicon content. For the samples containing about 6.5% Si, the coercivity decreases to 60 from 237.3 A/m of the original. It is also obtained that, in addition to the Si content, Si distribution has a large influence on the core loss due to the effect of resistivity. The micro-hardnesses were also evaluated along the cross-section after various annealings.     

酸性Ni-Mo-P/Ni-P双层化学镀工艺研究

对酸性Ni-Mo-P／Ni—P双层直接连续化学镀的工艺进行了试验研究。通过对钼酸根与次磷酸根加量比对镀速的影响，络合剂与pH对镀速及成分影响的研究，优化得到一种双层化学镀的酸性镀液的组成。试验研究了钼含量对镀层结构的影响，进而确定了具有非晶结构的双层镀的最佳工艺并对其性能进行了研究。     

TiNi形状记忆合金的线性回复行为及其稀土渗入改性

提出了TiNi形状记忆合金线性回复行为的新概念，采用稀土表面渗入化学热处理的方法，研究了对其线性回复性能的影响。实验结果表明：对TiNi形状记忆合金弹簧渗铈(Ce)或渗钐(Sm)，可以显著改善其线性回复性能。线性回复温度范围Tw从4℃拓宽到11℃，线性回复率η从54％提高到78％，线性回复程度PL从56％提高到70％，非线性回复程度Ps从44％减小至8％，但总回复程度PT有所下降。这些结果是由于TiNi合金弹簧渗层中金属问化合物的强化效果所致。     

白口铸铁锻造的组织及成分条件的试验研究

试验研究了白口铸铁锻造的组织及成分条件,分析并实际验证了冲天炉熔炼的白口铸铁锻造的可行性。     

WD615气缸体铸件材料性能的改善

WD615气缸体铸件曾发生化学成分不稳定、铸件本体组织粗大、铁素体含量偏高、硬度偏低等质量问题，为此，采取了如下措施：1）加强熔炼用材料的质量控制；2）提高冲天炉的熔炼质量；3）改进熔炼工艺（调整C,Si量，采用Cu-Cr-Sn合金化；降低浇注温度）；4）改进孕育工艺；5）采用炉前快速检测技术；6）加强铸件本体质量检测。结果表明，缸体铸件的化学成分、金相组织及力学性能均满足技术要求。     

SEBF/SLF系列重防腐涂料的特性和分析

本文介绍2种SEBF熔融结合环氧粉末涂料和2种SLF双组份液体涂料,辽宁的物理和化学性能及部分测试和评价方法.