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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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Thermal history and solute precipitation behavior of suspended solution droplets of sodium chloride (NaCl), magnesium sulphate (MgSO4), and zirconium hydroxychloride (ZrO(OH)Cl) evaporating at atmospheric and reduced pressures are studied. Experimental measurements on the variation of droplet diameter, solution concentration, and temperature during the evaporation period are presented and discussed. The results of solute precipitation behavior in solution droplets observed under an optical microscope are displayed and discussed. Results indicate that reducing the pressure (∼ 33 kPa) results in a change in the solution droplet evaporation rate, but the thermal histories of a particular solution droplet are similar at the atmospheric and reduced pressures. At atmospheric and reduced pressures used in this study, the d2 law for solution droplets is valid at early stages of the evaporation and before the solute precipitation initiates. Drying of MgSO4 and ZrO(OH)Cl solution droplets results in the formation of spherical particles, whereas drying of spherical NaCl solution droplets results in the formation of cubic particles. 相似文献
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概述了鞍钢1780mm生产线技术改造工程中供电、传动及自动控制系统的构成、安装及调试技术要点,以及技术经济效果评述,可供同类工程施工参考. 相似文献
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本文探讨了高速钢在高温形变过程中碳化物析出的行为及奥氏体组织状态对析出的影响。用透射电镜和扫描电镜分析了不同热处理状态奥氏体的组织结构,分析了高温形变过程中碳化物析出的部位,颗粒尺寸及形态。试验表明, 碳化物主要在奥氏体的缺陷处呈点状和点列状析出,大小为20mμ。处于回复状态的奥氏体缺陷诱发碳化物析出,析出碳化物钉札缺陷阻止再结晶进行。当再结晶驱动力较大时,由于动态再结晶充分发展,使缺陷大量消除,碳化物析出显著地减少。 相似文献
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简述了炼钢工序在柳钢"十五"期间工艺和装备的变化及其特点.对工序变化进行了初步分析. 相似文献