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51.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引:5,自引:1,他引:4
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。 相似文献
52.
文中提出了在高阶段不分层开采的露天矿场采用“有规则安全小平台开采方法”。开采坡度能够得到控制,有效地控制了采石场经常发生的塌方事故,能提高产量,降低生产成本,安全性好,且技术简单,易于推广。 相似文献
53.
从徐淮地区井筒破裂的特点出发,分析引起井壁破裂的根本原因,据此提出井筒的破裂机理,为选择防治井筒破裂的方法提供依据 相似文献
54.
多级脉冲深穿透射孔技术 总被引:4,自引:0,他引:4
目前国内较先进的射孔工艺是增效射孔和三相流射孔,这2种射孔工艺均存在射孔深度和造缝深度浅的问题,尤其是对低渗油藏和纵向渗透率远大于横向渗透率的油藏,此造缝深度并不能满足油田生产的需要.介绍了一种新型的射孔技术,它是一种能进行深度射孔造缝的多级射孔技术,利用三级推进剂燃爆时产生峰值不连续的高温、高压气流,形成多级脉冲,多次冲击射孔孔眼前沿的裂缝,使其有效延伸至地层深处,从而较单独的射孔更能有效地增加油气产量.通过地面水泥靶的试验,证明了该射孔器的延缝功能和安全性;通过塘32等井的现场试验,证明该射孔技术对污染地层解堵有显著效果,可明显地降低地层破裂压力. 相似文献
55.
针对我国现有自升式平台存在的不能满足深水域勘探开发的要求以及造价过高等问题,提出一种自升式平台深水化改造新模式——分体坐底自升式平台,在基本不改变原有平台结构的基础上,通过增加可沉浮平台下体,使作业水深增加50m以上,而造价比同工作水深的常规自升式平台低得多。文章介绍了该分体坐底自升式平台的结构方案、作业工况及操作程序,分析了该平台的技术可行性和经济可行性,并提出了深入研究和具体实施需要解决的问题。 相似文献
56.
57.
通过对洛阳热电厂拟选择的地基处理方案进行比较,并结合该电厂施工实例论证了φ800/1600扩底钢筋混凝土灌注桩是最适于该电厂及相似地区的地基处理方式。 相似文献
58.
稳定主槽是当前黄河下游河道治理的关键。窄深河槽具有很强的泄洪能力与输沙能力,是主槽整治追求的目标。黄河下游均是顺直微弯河道,河道水流最基本的主导机理是沿着阻力最小的方向流动,走直路、走近路,主槽整治设计流路应以顺直为上策。当前有必要对微弯整治方案进行再认识,实现对其否定之否定的提高。控制性弯道整治、对口丁坝整治、节点整治都属于双岸整治的范畴,对双岸整治的方向应予肯定。今后的整治应从微弯整治向节点整治发展,逐步过渡到以节点整治为主,最终达到稳定河势流路、高效排洪输沙之目的。 相似文献
59.
以花岗岩类的硬质岩作为建筑物基础持力层,具有承载力高、稳定性好,抗震性强的特点,被许多重要建筑物所采用,尤其是沿海地区的高层建筑物。但往往此类基岩的层面不够“平整”,基岩层面的变化对基础的设计、施工,尤其是桩基础影响很大。本文通过对某高层建筑进行地基勘察的实例,总结了花岗岩地区风化岩层的几个特征及其在工程勘察中需注意的一些问题。 相似文献
60.