金属/氮化物肖特基势垒和欧姆接触研究进展

金属 /氮化物肖特基势垒和欧姆接触是蓝紫光光学器件及高温大功率电子器件中的关键工艺。氮化物半导体是一种极性材料 ,表面态密度较低 ,费米能级钉扎效应较弱 ,表面处理能显著影响接触特性。样品表面的沾污和氧化层也会使接触特性显著退化。宽禁带材料的杂质离化能高 ,重掺杂比较困难。深能级陷阱对载流子的俘获效应很强。这些因素都增加了接触的制作难度 ,促使人们寻求新的方案来改进接触特性。文中从金属 /半导体接触的物理模型出发来综述肖特基势垒和欧姆接触的研究进展 ,希望能给器件研究者提供新的思路。     

The effect of pulsed laser annealing on the nickel silicide formation

The pulsed laser annealing (PLA) is used to assist nickel silicide transformation for Schottky barrier height reduction and tensile strain enhancement and the effect of different laser power are investigated. In this report, a two-step annealing process which combine the conventional rapid thermal annealing with pulsed laser annealing is proposed to achieve a smooth silicon-rich NiSi_x interfacial layer on (1 0 0) silicon. With optimized laser energy, a 0.2 eV Schottky barrier height (SBH) modulation is observed from Schottky diode electrical characterization. Furthermore, PLA provides sufficient effective temperature during silicidation which also lead to increased tensile stress of silicide film than the two-step RTA silicide is also investigated. The SBH modulation and tensile stress enhancement benefits of PLA silicidation are considered as an alternative to the conventional rapid thermal annealing for ultra-scaled devices performance enhancement.     

预制破片杀伤威力影响因素分析

文中分析了影响预制破片杀伤威力的诸因素．破片初速、单个破片的大小和形状、弹丸的炸高、落角、落速等．解算使得杀伤面积达到最大值的条件，为弹丸的优化设计提供理论上的依据。     

高度对球形气球诱饵及导弹辐射特性的影响研究

为了使导弹拥有方达到突防的目的,在分析背景辐射的基础上,利用空间目标表面温度数学模型计算了不同高度下空间目标表面的温度场分布,并分析讨论了高度对红外辐射特性的影响。结果表明,无论是白天还是夜间,高度都不会成为区分诱饵与弹头的参数,但尽可能在白天部署可以降低击中率,从而达到突防的效果。     

影响粗粒土毛细水上升高度的因素研究

通过对七种粗粒土料进行室内竖管法毛细水上升高度试验,建立了粗粒土毛细水上升高度与时间的关系曲线,并分析了各曲线变化规律和原因。对毛细水上升高度与时间关系试验曲线用各种函数进行了拟合,发现毛细水上升高度与时间过程在对数坐标下用二次多项式回归方程进行拟合效果最好。对方程参数与土料基本物理指标进行逐步回归分析,最终得出粗粒土毛细水上升高度与孔隙率、干容重、d10、d30、d50有着比较密切的联系,在此基础上建立了粗粒土毛细水上升高度的预测公式。     

弹道导弹激光引信测高算法研究

激光引信在弹道导弹上的作用是用于测量并控制弹头战斗部的爆炸高度。根据激光方向性好、能量集中、激光引信在弹头上的安装位置、特殊方式以及弹头自旋等特点，设计了一种适用于弹道导弹激光引信的测高算法，该算法简单实用，便于实现，为激光引信在弹道导弹上的成功应用提供了重要参考依据。     

炸高对炮射导弹破甲威力影响数值仿真

炮射导弹主要采用破甲战斗部高速金属射流侵彻毁伤目标;当材料、结构、尺寸等参数确定后,影响战斗部破甲威力的主要因素为炸高;以某型炮射导弹为研究对象,利用Ansys-Autodyn 2D有限元仿真软件构建炮射导弹战斗部模型,设定五组炸高对战斗部侵彻靶板过程分别进行仿真,得到炮射导弹的有利炸高为其战斗部直径的1.90~2.53倍。     

碱性Cu抛光液中非离子表面活性剂和氧化剂作用的研究

化学机械抛光是集成电路制造工艺中十分精密的技术。在本文中,为了改善抛光效果,分表讨论了非离子表面活性剂和氧化剂在CMP过程中作用。我们主要分析了非离子表面活性剂对片内非均匀性和表面粗糙度的影响。同时,我们从静态腐蚀速率、电化学曲线和剩余高低差的角度,讨论了在不加BTA条件下,不同氧化剂浓度的抛光液的钝化特性。实验结果明显地表明：加入了非离子表面活性剂的抛光液,更有利于改善抛光后的片内非均匀性和表面粗糙度,并确定2vol%体积分数是比较合适的浓度。当抛光液中氧化剂浓度超过3vol%,抛光液拥有较好的钝化能力,能够有效减小高低差,并有助于获得平整和光滑的表面。根据这些实验结果,非离子表面活性剂和氧化剂的作用进一步被了解,将有助于抛光液性能的改善。     

综放工作面垮落带高度测定方法研究

为解决高瓦斯矿井综放工作面垮落带高度难以精确测定,造成工作面两端头难维护、预抽钻孔终孔位置难以确定等问题,依据工作面采动后顶板岩层破断垮落、弯曲下沉对采空区煤层底板施加压力的情况,结合采空区上覆各岩层的厚度和密度,提出了垮落带发育高度的测定方法.以大平矿N1S2综放工作面为例,现场测试结果表明:利用该测定方法测得的垮落...     

图像处理在表征大气酸腐蚀钢结构表面颜色特征中的应用

根据Q235钢在大气酸条件下不同时间段的腐蚀,通过处理普通数码相机采集的图像,研究了腐蚀发展程度与腐蚀图像颜色特征的相关关系.重点讨论了灰度直方图峰宽、峰高与试样锈蚀率的回归关系.研究结果表明,除锈前后试样灰度直方图的峰宽与锈蚀率具有良好的线性关系,除锈前后峰宽比峰高与锈蚀率具有更好的相关性.